公开(公告)号：CN117425953B

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202280039695.7

申请日：2022-05-09

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 吉田彻夫 ,  大竹俊辅 ,  松冈达也

IPC: H01L21/66 ,  G01R31/28

Abstract: 提供一种能更正确地预测探针的前端位置的探测器控制装置、探测器控制方法以及探测器。在使探针与半导体芯片接触的探测器控制装置中，具备：输入数据取得部，取得包括探针卡以及卡保持架的至少一方的温度数据在内的输入数据；预测部，基于输入数据取得部取得的输入数据，使用将输入数据作为输入且将探针的前端位置作为输出的预测模型，预测探针的前端位置；和决定部，在预测部的预测前，基于在预测模型的机器学习中用作教示数据的输入数据和输入数据取得部取得的输入数据，决定可否执行预测部所进行的预测。

公开(公告)号：CN117425953A

公开(公告)日：2024-01-19

申请号：CN202280039695.7

申请日：2022-05-09

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 吉田彻夫 ,  大竹俊辅 ,  松冈达也

IPC: H01L21/66

Abstract: 提供一种能更正确地预测探针的前端位置的探测器控制装置、探测器控制方法以及探测器。在使探针与半导体芯片接触的探测器控制装置中，具备：输入数据取得部，取得包括探针卡以及卡保持架的至少一方的温度数据在内的输入数据；预测部，基于输入数据取得部取得的输入数据，使用将输入数据作为输入且将探针的前端位置作为输出的预测模型，预测探针的前端位置；和决定部，在预测部的预测前，基于在预测模型的机器学习中用作教示数据的输入数据和输入数据取得部取得的输入数据，决定可否执行预测部所进行的预测。