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公开(公告)号:CN118692950A
公开(公告)日:2024-09-24
申请号:CN202410322060.9
申请日:2024-03-20
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor: 木崎清贵
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: [课题]本发明提供一种片剥离装置,无论剥离带及保护片的硬度或保护片与被粘物之间的粘接力如何,都能使保护带从被粘物上稳定地剥离。[解决方案]片剥离装置(1)包括:剥离工作台(41),其保持被粘物(W)并能够沿Y轴方向移动;压接单元(50),其将剥离带(T)粘接在保护片(S)上;以及剥离辊(31)和支承板(33),其分别将剥离带(T)或从被粘物(W)上剥离的保护片(S)沿着预定轨道导向,该支承板(33)在保护片(S)从被粘物(W)上剥离的剥离位置,使轨道朝向剥离辊(31)折回,在保护片(S)的剥离过程中,使剥离位置处的轨道相对于Y轴方向的角度即剥离角度保持大致恒定。
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公开(公告)号:CN118103969A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202280068370.1
申请日:2022-06-24
Applicant: 株式会社东京精密
IPC: H01L21/683
Abstract: [课题]本发明提供一种工件加工装置,该工件加工装置抑制由从工件上剥离保护片的剥离单元引起的加工装置的处理能力的降低。[解决方案]工件加工装置(1)包括:粘贴单元(2),该粘贴单元(2)在工件(W)及切割架(DF)上粘贴切割带(DT);以及多个剥离单元(3),该多个剥离单元(3)使预先粘贴在工件(W)上的保护片(S)从介由切割带(DT)而与切割架(DF)一体化的工件(W)上剥离。
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公开(公告)号:CN116888710A
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN202180093101.6
申请日:2021-11-12
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor: 木崎清贵
IPC: H01L21/301
Abstract: [课题]提供一种以适当张力将切割胶带粘贴到工件和切割支架上的胶带粘贴装置。[解决方案]胶带粘贴装置(1)沿着粘贴方向(D1)将切割胶带(DT)粘贴到工件(W)和切割支架(DF)上。胶带粘贴装置(1)包括:按压辊(34),其将切割胶带(DT)按压到工件(W)和切割支架(DF)上;以及支承销(4),其使切割胶带(DT)朝向宽度方向(D2)伸展。
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公开(公告)号:CN116918056A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202180094439.3
申请日:2021-11-12
Applicant: 株式会社东京精密
IPC: H01L21/683
Abstract: [问题]提供一种胶带粘贴系统,能够自动地实施切割胶带的切换与交换。[解决方案]胶带粘贴系统(1)包括:储存器(5),该储存器(5)用于储存多个胶带盒(4),这些胶带盒(4)各自收纳呈辊状卷绕的切割胶带(DT);粘贴装置(3),该粘贴装置(3)具有将切割胶带(DT)的引出区域(R)限制到预定轨道的可动导向辊(32a)、(32b),固定导向辊(33a)、(33b)以及刀板(35),上述胶带盒(4)能够换装,上述粘贴装置(3)将切割胶带(DT)粘贴在切割支架(DF)以及工件(W)上;以及第一运送机器人(6),该第一运送机器人(6)在储存器(5)和粘贴装置(3)之间传递胶带盒(4)。
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公开(公告)号:CN116830255A
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN202180093102.0
申请日:2021-11-12
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor: 木崎清贵
IPC: H01L21/683
Abstract: [课题]本发明提供一种切割胶带的张力异常检测装置及方法,其能够定量地判定切割胶带的张力是否适当,从而准确地检测切割胶带的张力异常。[解决方案]张力异常检测装置(4)包括:空气测微计(41),该空气测微计(41)根据对切割胶带(DT)中的未粘贴有工件(W)的测定点(P)喷射空气时的切割胶带(DT)的位移,测定测定点(P)处的切割胶带(DT)的张力;判定部(42),该判定部(42)在测定点(P)处的切割胶带(DT)的张力处于预先设定的切割胶带(DT)的张力的适当范围内的场合,判定为切割胶带(DT)的张力适当,在测定点(P)处的切割胶带(DT)的张力不处于适当范围内的场合,判定为切割胶带(DT)的张力异常。
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公开(公告)号:CN118538655A
公开(公告)日:2024-08-23
申请号:CN202410187259.5
申请日:2024-02-20
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor: 木崎清贵
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: [课题]本发明提供一种片剥离装置,其不损伤被粘物且将剥离带稳定地压接在保护片上。[解决方案]片剥离装置(1)通过剥离带(T)对粘贴在被粘物(W)上的保护片(S)施加剥离力,将保护片(S)剥离,该片剥离装置包括:将剥离带(T)热压接在保护片(S)上的冲压头(46);将冲压头(46)向被粘物(W)推出的气缸(41);使气缸(41)升降的热冲压件进给机构(47);以及电子气动调节器(44),其可在向气缸(41)供给空气的同时,控制空气的设定压力,调整气缸(41)将冲压头(46)推出的输出,其特征在于,气缸(41)在作用于被粘物(W)的按压力超过气缸(41)的输出时,使冲压头(46)向上方退避。
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公开(公告)号:CN117999645A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202280065163.0
申请日:2022-05-24
Applicant: 株式会社东京精密
IPC: H01L21/683 , B65H41/00
Abstract: [课题]提供一种片剥离装置,其用于在不损坏被粘物的情况下稳定地从被粘物上剥离保护片。[解决方案]片剥离装置(1)包括:搬送工作台(2),其保持工件(W)并且能够在规定的移动方向上移动;以及热压印件(41),其用于将剥离带(T)接合到保护片(S),该热压印件(41)设置有多个压印头(43、44、45),用于分别接触剥离带(T)并将剥离带(T)朝向保护片(S)按压。
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公开(公告)号:CN116918035A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202180094438.9
申请日:2021-11-12
Applicant: 株式会社东京精密
Inventor: 木崎清贵
IPC: H01L21/301
Abstract: [问题]提供一种胶带粘贴装置以及胶带盒,能够自动地实施切割胶带的切换与交换。[解决方案]粘贴装置(3)包括:基部(31),在该基部(31)中,将胶带盒(4)以可换装的方式设置,该胶带盒(4)以呈辊状卷绕的切割胶带(DT)的一部分被引出的状态收纳切割胶带(DT);可动导向辊(32a)、(32b)、固定导向辊(33a)、(33b)以及刀板(35),其能够移动以将切割胶带(DT)的一部分被引出的引出区域(R)限制到预定轨道。
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