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公开(公告)号:CN117999645A
公开(公告)日:2024-05-07
申请号:CN202280065163.0
申请日:2022-05-24
Applicant: 株式会社东京精密
IPC: H01L21/683 , B65H41/00
Abstract: [课题]提供一种片剥离装置,其用于在不损坏被粘物的情况下稳定地从被粘物上剥离保护片。[解决方案]片剥离装置(1)包括:搬送工作台(2),其保持工件(W)并且能够在规定的移动方向上移动;以及热压印件(41),其用于将剥离带(T)接合到保护片(S),该热压印件(41)设置有多个压印头(43、44、45),用于分别接触剥离带(T)并将剥离带(T)朝向保护片(S)按压。