公开(公告)号：CN120063153A

公开(公告)日：2025-05-30

申请号：CN202411712682.9

申请日：2024-11-27

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 大野祥希 ,  林菜摘 ,  森井秀树

IPC: G01B11/24 ,  G01B21/04

Abstract: 本发明提供能够对配置有透明材料的对象物的测定面的表面形状简单且高效地进行测定的表面形状测定装置以及表面形状测定方法。表面形状测定装置具备：光源部；干涉部，其生成在测定面发生了反射的测定光与在参照面发生了反射的参照光的干涉光；光检测部，其生成干涉光的检测信号；表面形状数据算出部，其基于检测信号的强度的变化，算出表示测定面的表面的高度位置的表面形状数据；分布算出部，其基于表示针对测定面的各位置的检测信号的检测灵敏度的灵敏度数据，算出透明材料的分布；推定部，其基于透明材料的分布，根据在测定面中未配置透明材料的非透明区域中的表面形状数据，推定表示配置有透明材料的透明区域中的基材的表面的高度位置的基材形状数据；以及形状数据修正部，其基于基材形状数据，修正透明区域的表面形状数据。

公开(公告)号：CN119986675A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202411591719.7

申请日：2024-11-08

Applicant: 株式会社东京精密

Inventor： 大野祥希

IPC: G01S17/08 ,  G01S17/58

Abstract: 本发明提供测定装置以及测定装置的测定方法，能够以比以往更适当的条件执行测长器的测定值的取得。具备：第一测定控制部（反复测定控制部），在测长器（激光测长器）以及测定对象（角隅棱镜）的任一者向测定点的移动开始后，反复执行测长器的测定值的取得；指标运算部（标准偏差运算部），反复表示测定值的偏差的指标的运算；静止开始时间决定部，将指标成为阈值以下的时间决定为静止开始时间（ST）；移动速度运算部，反复一方的移动速度的运算；等待时间决定部，基于一方的移动速度信息来决定静止开始时间（ST）起的等待时间（WT）；以及第二测定控制部（移动后测定控制部），在静止开始时间（ST）起经过等待时间（WT）的情况下执行正式测定。