公开(公告)号：CN101611337B

公开(公告)日：2012-11-07

申请号：CN200880003224.0

申请日：2008-01-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 萩原洋右 ,  河野清彦 ,  野毛宏

IPC: G02B26/08 ,  G02B26/10 ,  H04N1/036

Abstract: 易于制造出在移动单元中具有绝缘结构的半导体结构。通过处理由第一硅层100a、氧化物膜120以及第二硅层100b所组成的SOI衬底，从而形成光扫描镜(半导体结构)1。移动单元50，其通过第一铰链5支撑于固定框架4上，形成在第一硅层100a上。通过形成沟槽(绝缘结构)101a将所述移动单元50划分成多个区域。由氧化物膜120和第二硅层100b形成的支撑部件9刚好形成在所述沟槽101a之下。由所述沟槽101a划分的可移动框架3的多个区域接合到所述支撑部件9，从而使得移动单元50与支撑部件9一起是可摆动的。从而，通过简单的蚀刻步骤形成支撑部件9，如此，确保移动单元50的机械强度。

公开(公告)号：CN102067009B

公开(公告)日：2013-01-02

申请号：CN200980123170.6

申请日：2009-06-24

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 上田英喜 ,  野毛宏 ,  河野清彦 ,  橘宏明

IPC: G02B26/10 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  H04N1/113

CPC classification number: G02B26/0841 ,  B81B3/007 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  H04N1/1017 ,  H04N1/193

Abstract: 在活动结构中，通过提高铰接单元的抗张刚度或抗弯刚度，同时抑制铰接单元的扭转刚度，提高活动板的摆动动作的稳定性。用一对支架3a和跨接在所述一对支架3a之间的过梁3b形成具有蜂窝状部分3c的梯状物形状的铰接单元3，以便可转动地支持活动板2。在用铰接单元3的蜂窝状部分3c抑制铰接单元3的扭转刚度的同时，提高抗张刚度或抗弯刚度。

公开(公告)号：CN101682274B

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN200880017140.2

申请日：2008-05-23

Applicant: 松下电器产业株式会社

Inventor： 河野清彦 ,  野毛宏 ,  上田英喜

IPC: H02N1/00 ,  G02B26/10

CPC classification number: G02B26/0841 ,  H02N1/006

Abstract: 提供一种振动设备，其可通过简单的构成轻易地调节可移动板振动角和相位。用作振动设备的光扫描设备(10)包括：镜子元件(1)，用于振动具有镜膜(2a)的可移动板；控制电路(14)，具有占空比调节单元(17)和改变脉冲电压的占空比的功能，从而施加脉冲电压以驱动镜子元件(1)的垂直梳；以及振动检测单元(19)，用于检测可移动板的振动。基于由振动检测单元(19)检测的可移动板振动，控制电路(14)控制占空比调节单元(17)，以改变脉冲电压的占空比。当对镜子元件(1)施加具有改变的占空比的脉冲电压时，在可移动板的振动时刻改变对垂直梳施加电压的周期，从而可改变移动板的振动的相位和振动角。通过根据可移动板的振动对占空比的反馈控制，可控制可移动板以在适当的相位和适当的振动角振动。