振动设备、使用该振动设备的光学扫描设备、图像显示装置、和该振动设备的控制方法

    公开(公告)号:CN101682274B

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN200880017140.2

    申请日:2008-05-23

    CPC classification number: G02B26/0841 H02N1/006

    Abstract: 提供一种振动设备,其可通过简单的构成轻易地调节可移动板振动角和相位。用作振动设备的光扫描设备(10)包括:镜子元件(1),用于振动具有镜膜(2a)的可移动板;控制电路(14),具有占空比调节单元(17)和改变脉冲电压的占空比的功能,从而施加脉冲电压以驱动镜子元件(1)的垂直梳;以及振动检测单元(19),用于检测可移动板的振动。基于由振动检测单元(19)检测的可移动板振动,控制电路(14)控制占空比调节单元(17),以改变脉冲电压的占空比。当对镜子元件(1)施加具有改变的占空比的脉冲电压时,在可移动板的振动时刻改变对垂直梳施加电压的周期,从而可改变移动板的振动的相位和振动角。通过根据可移动板的振动对占空比的反馈控制,可控制可移动板以在适当的相位和适当的振动角振动。

    加速度传感器
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102667497B

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN201080052810.1

    申请日:2010-11-23

    CPC classification number: G01P15/125 G01P15/0802 G01P15/18 G01P2015/0831

    Abstract: 本发明提供一种加速度传感器,具备传感器部,该传感器部包括:重物部,一体地形成有在一面上开口的凹部和除了上述凹部以外的实心部;一对梁部,转动自如地支撑上述重物部以使上述凹部和上述实心部沿着转动方向排列;可动电极,在与凹部开口的上述一面不同的另一面上横跨上述凹部和上述实心部设置;第1固定电极,配设在上述可动电极的与上述凹部侧对置的位置;以及第2固定电极,配设在上述可动电极的与上述实心部侧对置的位置,上述加速度传感器根据伴随着以连结一对上述梁部的直线为转动轴的上述重物部的转动的、上述可动电极与上述固定电极之间的静电电容的变化,来检测加速度,其特征在于,将上述梁部向上述凹部侧错开配置,以使从上述重物部的重心位置向上述转动轴引下的垂线与上述可动电极的表面所成的角度为大致45度。

    加速度传感器及其构造体

    公开(公告)号:CN102124352B

    公开(公告)日:2013-04-17

    申请号:CN200980131560.8

    申请日:2009-11-19

    CPC classification number: G01P15/125 G01P15/0802 G01P15/18 G01P2015/0831

    Abstract: 本发明提供一种加速度传感器,具备呈矩形形状的可动电极(4、5)、连接在可动电极(4、5)的对置的两边的中央并且支撑可动电极(4、5)并使该可动电极自由摆动的一对横梁(6a、6b、7a、7b)、和分别设置在以连结所述一对横梁(6a、6b、7a、7b)的直线为分界线的所述分界线的一侧及另一侧,且相对于所述可动电极(4、5)的表面空出规定的间隔对置地配置的第1及第2固定电极(20a、20b、21a、21b)。并且,在所述可动电极(4、5)的背面,在所述分界线的一侧及另一侧分别形成有第1及第2凹部(11a、11b、11c、11d、13a、13b、13c、13d、12、14)。

    加速度传感器
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102667497A

    公开(公告)日:2012-09-12

    申请号:CN201080052810.1

    申请日:2010-11-23

    CPC classification number: G01P15/125 G01P15/0802 G01P15/18 G01P2015/0831

    Abstract: 本发明提供一种加速度传感器,具备传感器部,该传感器部包括:重物部,一体地形成有在一面上开口的凹部和除了上述凹部以外的实心部;一对梁部,转动自如地支撑上述重物部以使上述凹部和上述实心部沿着转动方向排列;可动电极,在与凹部开口的上述一面不同的另一面上横跨上述凹部和上述实心部设置;第1固定电极,配设在上述可动电极的与上述凹部侧对置的位置;以及第2固定电极,配设在上述可动电极的与上述实心部侧对置的位置,上述加速度传感器根据伴随着以连结一对上述梁部的直线为转动轴的上述重物部的转动的、上述可动电极与上述固定电极之间的静电电容的变化,来检测加速度,其特征在于,将上述梁部向上述凹部侧错开配置,以使从上述重物部的重心位置向上述转动轴引下的垂线与上述可动电极的表面所成的角度为大致45度。

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