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公开(公告)号：CN116952442A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202310618959.0
申请日：2023-05-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器。本发明包括力检测模块和位于力检测模块内的自校准模块。力检测模块为两种不同类型的硅梁，分别是测量z轴应力的硅梁和测量x/y轴应力的硅梁。自校准模块包括压电材料和电极；压电材料分别位于两种不同类型的硅梁上方，利用逆压电效应驱动硅梁产生机械应变，以实现触觉传感器的自校准。本发明中的测量x/y轴应力的硅梁形状为圆弧状而非传统的直梁，在相同应力作用下可以产生更大的机械应变，从而扩大触觉传感器的灵敏度，并且通过输出的电阻变化量的趋势，对触觉传感器所受外力进行方向检测。还发明还可通过自校准模块对触觉传感器进行自校准和误差补偿。
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公开(公告)号：CN116789073A
公开(公告)日：2023-09-22
申请号：CN202310614318.8
申请日：2023-05-29
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种可自校准的SOI基MEMS三维力传感器及其制备工艺。本发明包括MEMS器件层以及键合于MEMS器件层下方的衬底；所述MEMS器件层包括凸台、锚点、锚区、中心板、四根位于中心板四周的L型压电驱动梁和十二个pad；所述衬底包括键合区域、空腔、导电衬垫和八个固定金属电极。本发明为敏感元件增加驱动模块与多电容检测模块，从而保证测量结果的准确性并节省额外的校准成本，本发明在实现自校准的同时，采用三维集成的方式，直接利用SOI的圆片做外部封装。
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公开(公告)号：CN115574811A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211254502.8
申请日：2022-10-13
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及惯性传感器技术领域，具体涉及一种具有运动姿态自测功能的MEMS惯性振动系统及制备方法，包括：惯性振动平台，其以多方向自由度运动，方向与惯性振动平台受到电压激励信号而产生的协同弯曲振动相符；PMUT阵列，以预设间隔阵列分布在惯性振动平台底面，与惯性振动平台底面键合，PMUT阵列包括若干个发射子阵列和若干个接收子阵列，发射子阵列和接收子阵列一一对应，发射子阵列及接收子阵列均包括若干个PMUT单管，若干个PMUT单管相互连接组成发射子阵列或接收子阵列。本发明的有益技术效果包括：能够对MEMS惯性振动平台进行运动状态自监测，为MEMS惯性传感器的自校准提供参考，简化自校准实现方法。
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公开(公告)号：CN115445032A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211206603.8
申请日：2022-09-30
Applicant: 杭州电子科技大学
Abstract: 本发明涉及医疗器械技术领域，具体涉及一种可雾化营养液的微机电系统，包括上衬底、下衬底、通气模块、营养液仓、输液孔、PTFE膜、氧化硅板、Pt温度传感器、金属发热丝和驱动电路，下衬底中设有营养液仓和输液孔，营养液仓靠近上衬底一侧具有开口，输液孔将营养液仓与下衬底外部连通，PTFE膜封闭开口，上衬底与下衬底固定连接，上衬底中设有通气模块，氧化硅板固定安装在上衬底表面，Pt温度传感器和金属发热丝均安装在氧化硅板上，Pt温度传感器检测金属发热丝的温度，Pt温度传感器和金属发热丝均与驱动电路连接。本发明的有益技术效果包括：能够使营养液均匀雾化，有利于人体的吸收。
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