公开(公告)号：CN116793546A

公开(公告)日：2023-09-22

申请号：CN202310008683.4

申请日：2023-01-04

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 董林玺 ,  钟妤馨 ,  黄一马 ,  刘超然 ,  颜海霞 ,  杨伟煌

IPC: G01L1/22

Abstract: 本发明公开了一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器。本发明包括金属电极、敏感单元、硅梁、压敏电阻和芯片框架；本发明采用具有支撑结构的质量块连接接触器顶部与微梁结构达到检测和分离垂直作用力与横向作用力的效果。采用微梁结构，改变原有扭转变形，通过直拉直压模式，将绝大部分的应力应变集中于梁上，贡献于压敏电阻的检测，与传统的压阻式传感器相比，很大程度的提高了传感器的灵敏度。采用压阻原理对摩擦力、压力等触觉力进行测量，法向力与剪切力的测量皆采用梁结构，在相同的负载下，相比于电容式传感器，在以不损耗灵敏度的前提下，实现芯片的小型化。

公开(公告)号：CN116952442A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310618959.0

申请日：2023-05-29

Applicant: 杭州电子科技大学

Inventor： 董林玺 ,  钟妤馨 ,  胡梦宜 ,  俞挺 ,  刘超然 ,  杨伟煌

IPC: G01L5/162 ,  G01L25/00

Abstract: 本发明公开了一种具有自校准功能的带方向性检测的触觉传感器。本发明包括力检测模块和位于力检测模块内的自校准模块。力检测模块为两种不同类型的硅梁，分别是测量z轴应力的硅梁和测量x/y轴应力的硅梁。自校准模块包括压电材料和电极；压电材料分别位于两种不同类型的硅梁上方，利用逆压电效应驱动硅梁产生机械应变，以实现触觉传感器的自校准。本发明中的测量x/y轴应力的硅梁形状为圆弧状而非传统的直梁，在相同应力作用下可以产生更大的机械应变，从而扩大触觉传感器的灵敏度，并且通过输出的电阻变化量的趋势，对触觉传感器所受外力进行方向检测。还发明还可通过自校准模块对触觉传感器进行自校准和误差补偿。