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公开(公告)号：CN117206132A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311188771.3
申请日：2023-09-14
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
IPC分类号： B05C5/02
摘要： 本发明提供了一种基于三轴联动的涂布头调平装置及方法。通过第一轴连接中心、第二轴连接中心以及第三轴连接中心与主动侧驱动组件、中心侧组件以及从动侧组件的连接设置，并通过所述主动驱动组件驱动所述涂布头调节板围绕所述第二轴连接中心转动，以使所述从动侧组件沿XY轴双十字滑台做伴随运动，解决了现有技术中通常依靠单轴旋转和两个高精度位移传感器来进行调平无法满足制造所需的涂布头与涂布平台之间的平行度的技术问题，实现了减少操作难度与撞刀风险，采用三轴联动调平机构，便捷自动的调整涂布头使其与涂布平台表面平行，重复使用后精度控制于±2μm以内。
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公开(公告)号：CN118417124A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410895975.9
申请日：2024-07-05
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及涂布设备技术领域，提供了一种狭缝式涂布模头，包括：模头组件，模头组件包括第一模头、垫片及第二模头，以模头组件的长度方向为X轴，高度方向为Y轴，厚度方向为Z轴，垫片在Z轴方向上夹在第一模头及第二模头之间；两组电极结构，两组电极结构设置于第一模头及第二模头之间，两组电极结构分别位于所述垫片的两端；输液组件，第一模头的侧面开设多个进液孔，输液组件与进液孔连接。解决了狭缝唇口处液体流速不均匀，以及模头厚度和重量较大导致的涂布效果较差的技术问题。
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公开(公告)号：CN118417124B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410895975.9
申请日：2024-07-05
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及涂布设备技术领域，提供了一种狭缝式涂布模头，包括：模头组件，模头组件包括第一模头、垫片及第二模头，以模头组件的长度方向为X轴，高度方向为Y轴，厚度方向为Z轴，垫片在Z轴方向上夹在第一模头及第二模头之间；两组电极结构，两组电极结构设置于第一模头及第二模头之间，两组电极结构分别位于所述垫片的两端；输液组件，第一模头的侧面开设多个进液孔，输液组件与进液孔连接。解决了狭缝唇口处液体流速不均匀，以及模头厚度和重量较大导致的涂布效果较差的技术问题。
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公开(公告)号：CN118417130B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410874719.1
申请日：2024-07-02
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及涂布设备技术领域，提供了一种涂布设备及控制方法，包括：基台边缘平整，夹持模块包括支架及夹爪，用于夹住基片侧面，夹爪包括柔性接触部，柔性接触部与基片侧面相接触的侧面的高度小于基片厚度；传感器单元包括距离传感器部件，距离传感器部件包括至少三个距离传感器，至少三个距离传感器安装于支架上且不在同一直线上，距离传感器用于检测支架与基片的距离；控制器接收传感器单元的信号并控制夹持单元，使得柔性接触部接触基片侧面的位置与基片上表面的距离大于预设距离；且控制器根据距离传感器部件的信号判断基片是否保持水平。本发明解决了现有技术中存在的基台有开槽引起的成膜质量问题，并实现了基片成功转移的效果。
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公开(公告)号：CN118417130A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410874719.1
申请日：2024-07-02
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及涂布设备技术领域，提供了一种涂布设备及控制方法，包括：基台边缘平整，夹持模块包括支架及夹爪，用于夹住基片侧面，夹爪包括柔性接触部，柔性接触部与基片侧面相接触的侧面的高度小于基片厚度；传感器单元包括距离传感器部件，距离传感器部件包括至少三个距离传感器，至少三个距离传感器安装于支架上且不在同一直线上，距离传感器用于检测支架与基片的距离；控制器接收传感器单元的信号并控制夹持单元，使得柔性接触部接触基片侧面的位置与基片上表面的距离大于预设距离；且控制器根据距离传感器部件的信号判断基片是否保持水平。本发明解决了现有技术中存在的基台有开槽引起的成膜质量问题，并实现了基片成功转移的效果。
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公开(公告)号：CN221166706U
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202322998064.2
申请日：2023-11-07
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
IPC分类号： C23C14/22
摘要： 本实用新型公开了一种桌面式涂布成膜一体机，包括成膜机、对成膜机抽真空的真空泵、涂布机以及给涂布机提供氮气的氮气接口，还包括将成膜机和涂布机从外侧密封在一起的封闭机构，以避免基片转移时被外界污染。封闭机构将成膜机和涂布机封闭，这样在内部操作，避免外界接触，从而避免了污染。将涂布机和成膜机进行了不影响功能的优化，使两者能够放置于同一箱体中，并减小了大部分体积，同时也将操作进行了优化，箱体的主箱门也配有橡胶手套，可在不开门的情况下将涂布完成的基片从涂布机的平台上转移到成膜机上，避免了外界的污染。
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公开(公告)号：CN221544741U
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202323616684.1
申请日：2023-12-28
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种溅镀机分子泵真空抽气口用遮挡机构，包括安装在机体内侧的安装板，所述安装板上开设有与机体分子泵真空抽气口对应的主洞，分子泵真空抽气口外侧连接真空泵，且安装板上安装有向上倾斜的遮挡从下侧过来的镀膜分子的主防着板，阻挡下侧过来的镀膜分子。主洞相对于传统小真空抽气口，尺寸更大，抽气效率高，而主洞前侧设置的主防着板，能够在保证抽气的同时，阻挡镀膜分子，避免镀膜分子大量排出，从而保证镀膜效果。主防着板设置多个，提高了透气性，也保证了遮挡效果。侧防着板能够遮挡传感器，避免镀膜分子覆盖，保证灵敏度。
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公开(公告)号：CN221379396U
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202322988706.0
申请日：2023-11-07
申请人： 杭州众能光电科技有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/04 , H01L21/683 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本实用新型公开了一种分离式载片台加热装置，包括对涂布后的载片进行加热的加热器，所述加热器位于载片台的上侧以减小载片台的空间占用，还包括对加热器进行支撑的支撑机构。相对于原有的加热器固定在载片台上，这里为分离式，减小载片台的空间占用，保证载片台的平整度和精度，增加使用寿命。加热器安装在支撑台上，上料时载片台移动至加热器的下方，气缸下降开始加热，加热达到要求后载片台向工作区域移动，结束后，气缸收回，完成一次加热，载片台旁也配有温探，可直接与触摸屏通讯，当达到温度上限时进行报警等处理，这里供了加热需求，也保留了载片台的平面度精度。
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