一种涂布设备及控制方法
摘要:
本发明涉及涂布设备技术领域,提供了一种涂布设备及控制方法,包括:基台边缘平整,夹持模块包括支架及夹爪,用于夹住基片侧面,夹爪包括柔性接触部,柔性接触部与基片侧面相接触的侧面的高度小于基片厚度;传感器单元包括距离传感器部件,距离传感器部件包括至少三个距离传感器,至少三个距离传感器安装于支架上且不在同一直线上,距离传感器用于检测支架与基片的距离;控制器接收传感器单元的信号并控制夹持单元,使得柔性接触部接触基片侧面的位置与基片上表面的距离大于预设距离;且控制器根据距离传感器部件的信号判断基片是否保持水平。本发明解决了现有技术中存在的基台有开槽引起的成膜质量问题,并实现了基片成功转移的效果。
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