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公开(公告)号:CN107039308A
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201610944877.5
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及前开式环形盒。用于与处理模块交换消耗部件的盒包括具有前侧、后侧以及第一和第二横向侧的底板。第一支撑柱设置在邻近前侧的第一横向侧上。第二支撑柱设置在邻近前侧的第二横向侧上。第三支撑柱设置在邻近后侧的第一横向侧上,而第四支撑柱设置在邻近后侧的第二横向侧上。每个支撑柱包括沿纵向分布并且指向内部的多个支撑指状物。第一硬质止动柱平行于第三支撑柱设置,第二硬质止动柱平行于第四支撑柱设置。连接到底板的外壳结构被配置为包围第一、第二、第三和第四支撑柱、顶板和第一和第二硬质止动柱,并且包括设置在底板的前侧上的前开口。门与前开口配合,并且包括用于当消耗部件被接纳在盒中时将消耗部件固定在盒中的保持组件。
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公开(公告)号:CN107068601B
公开(公告)日:2020-06-16
申请号:CN201610879720.9
申请日:2016-10-08
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 詹姆斯·斯蒂芬·万·高赫 , 坎迪·克里斯托弗森 , 穆赫辛·萨拉克 , 布兰登·森 , 哈梅特·辛格 , 德里克·约翰·威特科维基 , 理查德·M·布兰克 , 理查德·霍华德·古尔德 , 埃弗拉因·基莱斯
IPC分类号: H01L21/677 , H01L21/687
摘要: 本发明公开了包括水平槽和/或移动喷头的晶片输送微气候技术和装置,具体公开了在半导体处理室的外部环境中形成半导体晶片周围的缓冲气体微气候的系统和技术。这样的系统可以包括槽门,其可允许单个晶片能从多晶片堆中移除同时限制缓冲气体从多晶片存储系统中的流出,以及缓冲气体分配器,其针对机械手臂的至少一些运动随着这些机械手臂一起运动,所述机械手臂用于运输晶片。
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公开(公告)号:CN112599440A
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN202011281008.1
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 达蒙·蒂龙·格内特 , 乔恩·麦克切斯尼 , 亚历克斯·帕特森 , 德里克·约翰·威特科维基 , 奥斯丁·恩戈
IPC分类号: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/687 , B25J15/00
摘要: 本发明涉及一种能连接到机械手以与处理工具一起使用的端部执行器,其包含:指状物组件,包括基部和从所述基部向外延伸的成对的指状物,每一个成对的指状物都包括与所述基部相邻的近端,所述指状物组件耦合到所述机械手的手臂,以及远端在所述成对的指状物的前端处;第一组接触垫,设置在所述指状物组件的顶表面上,在所述成对的指状物的所述基部和所述远端处,使得所述第一组接触垫限定外径;第二组接触垫,设置在所述指状物组件的所述顶表面上,在邻近所述基部的近端处且靠近所述远端,使得所述第二组接触垫限定内径,其中,所述外径设置成与所述内径同心,并且所述第一组接触垫提供的接触表面不同于所述第二组接触垫提供的接触表面。
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公开(公告)号:CN107039307B
公开(公告)日:2020-12-08
申请号:CN201610924742.2
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 达蒙·蒂龙·格内特 , 乔恩·麦克切斯尼 , 亚历克斯·帕特森 , 德里克·约翰·威特科维基 , 奥斯丁·恩戈
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及用连接等离子体处理系统的端部执行器自动更换消耗部件。群集工具组件包括真空传送模块,具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一和第二侧,隔离阀的第一侧耦合到处理模块的第二侧。更换站耦合到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室。处理模块包括升降机构,以使安装在处理模块中的消耗部件放置到升高位置。升高位置使更换操作器能访问,以使消耗部件能从处理模块移除并存储在部件缓冲区的隔室。更换操作器被配置为使消耗部件的更换件从部件缓冲区回到处理模块。在处理模块和更换站被保持在真空状态下时,由更换操作器和处理模块进行更换。
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公开(公告)号:CN107039307A
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:CN201610924742.2
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 达蒙·蒂龙·格内特 , 乔恩·麦克切斯尼 , 亚历克斯·帕特森 , 德里克·约翰·威特科维基 , 奥斯丁·恩戈
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及用连接等离子体处理系统的端部执行器自动更换消耗部件。群集工具组件包括真空传送模块,具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一和第二侧,隔离阀的第一侧耦合到处理模块的第二侧。更换站耦合到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室。处理模块包括升降机构,以使安装在处理模块中的消耗部件放置到升高位置。升高位置使更换操作器能访问,以使消耗部件能从处理模块移除并存储在部件缓冲区的隔室。更换操作器被配置为使消耗部件的更换件从部件缓冲区回到处理模块。在处理模块和更换站被保持在真空状态下时,由更换操作器和处理模块进行更换。
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公开(公告)号:CN111489984A
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN201911281036.0
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及前开式环形盒。用于与处理模块交换消耗部件的盒包括具有前侧、后侧以及第一和第二横向侧的底板。第一支撑柱设置在邻近前侧的第一横向侧上。第二支撑柱设置在邻近前侧的第二横向侧上。第三支撑柱设置在邻近后侧的第一横向侧上,而第四支撑柱设置在邻近后侧的第二横向侧上。每个支撑柱包括沿纵向分布并且指向内部的多个支撑指状物。第一硬质止动柱平行于第三支撑柱设置,第二硬质止动柱平行于第四支撑柱设置。连接到底板的外壳结构被配置为包围第一、第二、第三和第四支撑柱、顶板和第一和第二硬质止动柱,并且包括设置在底板的前侧上的前开口。门与前开口配合,并且包括用于当消耗部件被接纳在盒中时将消耗部件固定在盒中的保持组件。
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公开(公告)号:CN107068586B
公开(公告)日:2020-06-05
申请号:CN201610932313.X
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 达蒙·蒂龙·格内特 , 乔恩·麦克切斯尼 , 亚历克斯·帕特森 , 德里克·约翰·威特科维基 , 奥斯丁·恩戈
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及使用连接的室自动更换消耗部件。群集工具组件包括真空传送模块,具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一侧和第二侧,隔离阀的第一侧耦合到处理模块的第二侧。更换站耦合到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室。处理模块包括升降机构,以使安装在处理模块中的消耗部件放置到升高位置。升高位置使更换操作器能访问,以使消耗部件能从处理模块移除并存储在部件缓冲区的隔室。更换操作器被配置为使消耗部件的更换件从部件缓冲区回到处理模块。在处理模块和更换站被保持在真空状态下时,由更换操作器和处理模块进行更换。
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公开(公告)号:CN107039308B
公开(公告)日:2020-01-03
申请号:CN201610944877.5
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及前开式环形盒。用于与处理模块交换消耗部件的盒包括具有前侧、后侧以及第一和第二横向侧的底板。第一支撑柱设置在邻近前侧的第一横向侧上。第二支撑柱设置在邻近前侧的第二横向侧上。第三支撑柱设置在邻近后侧的第一横向侧上,而第四支撑柱设置在邻近后侧的第二横向侧上。每个支撑柱包括沿纵向分布并且指向内部的多个支撑指状物。第一硬质止动柱平行于第三支撑柱设置,第二硬质止动柱平行于第四支撑柱设置。连接到底板的外壳结构被配置为包围第一、第二、第三和第四支撑柱、顶板和第一和第二硬质止动柱,并且包括设置在底板的前侧上的前开口。门与前开口配合,并且包括用于当消耗部件被接纳在盒中时将消耗部件固定在盒中的保持组件。
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公开(公告)号:CN107068586A
公开(公告)日:2017-08-18
申请号:CN201610932313.X
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
发明人: 达蒙·蒂龙·格内特 , 乔恩·麦克切斯尼 , 亚历克斯·帕特森 , 德里克·约翰·威特科维基 , 奥斯丁·恩戈
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及使用连接的室自动更换消耗部件。群集工具组件包括真空传送模块,具有连接到真空传送模块的第一侧的处理模块。隔离阀具有第一侧和第二侧,隔离阀的第一侧耦合到处理模块的第二侧。更换站耦合到隔离阀的第二侧。更换站包括更换操作器和部件缓冲区。部件缓冲区包括用于容纳新的或使用过的消耗部件的多个隔室。处理模块包括升降机构,以使安装在处理模块中的消耗部件放置到升高位置。升高位置使更换操作器能访问,以使消耗部件能从处理模块移除并存储在部件缓冲区的隔室。更换操作器被配置为使消耗部件的更换件从部件缓冲区回到处理模块。在处理模块和更换站被保持在真空状态下时,由更换操作器和处理模块进行更换。
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公开(公告)号:CN111489984B
公开(公告)日:2024-04-26
申请号:CN201911281036.0
申请日:2016-10-24
申请人: 朗姆研究公司
IPC分类号: H01L21/67
摘要: 本发明涉及前开式环形盒。用于与处理模块交换消耗部件的盒包括具有前侧、后侧以及第一和第二横向侧的底板。第一支撑柱设置在邻近前侧的第一横向侧上。第二支撑柱设置在邻近前侧的第二横向侧上。第三支撑柱设置在邻近后侧的第一横向侧上,而第四支撑柱设置在邻近后侧的第二横向侧上。每个支撑柱包括沿纵向分布并且指向内部的多个支撑指状物。第一硬质止动柱平行于第三支撑柱设置,第二硬质止动柱平行于第四支撑柱设置。连接到底板的外壳结构被配置为包围第一、第二、第三和第四支撑柱、顶板和第一和第二硬质止动柱,并且包括设置在底板的前侧上的前开口。门与前开口配合,并且包括用于当消耗部件被接纳在盒中时将消耗部件固定在盒中的保持组件。
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