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公开(公告)号：CN117660915A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410149927.5
申请日：2024-02-02
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
摘要： 本发明揭示了镀膜设备及其镀膜方法，其中镀膜设备包括镀膜室和上下料室，上下料室的第一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间密封连接有插板阀，上下料室与第一侧相对的第二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的工件往复移动的上下料轴，上下料轴的第一端伸入到上下料室内且与第一进出口位置对应；上下料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线移动驱动机构，直线移动驱动机构位于上下料室的外部且可驱动上下料轴的第一端伸入到镀膜室内。本发明在上下料时，可以在关闭插板阀后，仅对更小的上下料室进行破真空以进行上下料操作，能够不破坏镀膜室内的真空，更容易进行镀膜室内的真空控制，更有利于保证工艺环境。
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公开(公告)号：CN117660915B
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410149927.5
申请日：2024-02-02
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司 , 中国航发北京航空材料研究院
摘要： 本发明揭示了镀膜设备及其镀膜方法，其中镀膜设备包括镀膜室和上下料室，上下料室的第一侧的第一进出口和镀膜室的第二进出口之间密封连接有插板阀，上下料室与第一侧相对的第二侧处密封连接有用于安装工件并带动其上的工件往复移动的上下料轴，上下料轴的第一端伸入到上下料室内且与第一进出口位置对应；上下料轴密封连接驱动其沿其轴向往复移动的直线移动驱动机构，直线移动驱动机构位于上下料室的外部且可驱动上下料轴的第一端伸入到镀膜室内。本发明在上下料时，可以在关闭插板阀后，仅对更小的上下料室进行破真空以进行上下料操作，能够不破坏镀膜室内的真空，更容易进行镀膜室内的真空控制，更有利于保证工艺环境。
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公开(公告)号：CN115852314A
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202211509517.4
申请日：2022-11-29
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
摘要： 本发明揭示了阀用部件复合表面处理工艺及阀用部件，其中表面处理工艺是在清洗后的基体上加工得到50微米‑300微米厚的支撑层并在磨削和抛光处理后，在支撑层上加工得到表层为超硬碳基涂层的PVD涂层。本发明采用较厚的支撑层为PVD涂层提供支撑，可以防止PVD涂层，尤其是超硬碳基涂层因基体变形而失效。支撑层的硬度介于基体和超硬碳基涂层的硬度之间，极大程度地避免基体和超硬碳基涂层之间由于硬度梯度过大导致结合力不良的问题。进一步超硬碳基涂层的硬度在3500HV‑6500HV之间，摩擦系数在0.06‑0.1之间，成倍地提高表面硬度，且表面具有低摩擦系数，充分满足了高压、高频硬密封场合的使用需要，使用寿命相对于常规工艺处理的阀用部件提高3‑10倍。
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公开(公告)号：CN115889342A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211509510.2
申请日：2022-11-29
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本发明揭示了复合等离子体清洗方法，包括如下步骤：S1，将工件置于真空室内的工件架上；S2，将真空室抽真空；S3，向真空室内充入惰性气体使真空室内的气压处于偏压辉光清洗和离子束清洗均可工作的工作压力；S4，开启偏压电源及离子束源对真空室内的工件同时进行偏压辉光清洗和离子束清洗。本发明将偏压辉光清洗和离子束清洗结合来同步对真空室内的工件进行清洗，能够将两种清洗方式的优点完美结合，并实现它们缺点的互补，达到大面积、大规模清洗和局部定向清洗的有效结合，这样不仅能够提高清洗效果，适用于批量清洗需要，同时，一炉工件能够在半小时内全部完成清洗，清洗时间大大减少，有效地提高了清洗效率。
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公开(公告)号：CN115889342B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202211509510.2
申请日：2022-11-29
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
IPC分类号： B08B7/00
摘要： 本发明揭示了复合等离子体清洗方法，包括如下步骤：S1，将工件置于真空室内的工件架上；S2，将真空室抽真空；S3，向真空室内充入惰性气体使真空室内的气压处于偏压辉光清洗和离子束清洗均可工作的工作压力；S4，开启偏压电源及离子束源对真空室内的工件同时进行偏压辉光清洗和离子束清洗。本发明将偏压辉光清洗和离子束清洗结合来同步对真空室内的工件进行清洗，能够将两种清洗方式的优点完美结合，并实现它们缺点的互补，达到大面积、大规模清洗和局部定向清洗的有效结合，这样不仅能够提高清洗效果，适用于批量清洗需要，同时，一炉工件能够在半小时内全部完成清洗，清洗时间大大减少，有效地提高了清洗效率。
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公开(公告)号：CN116005108A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211509520.6
申请日：2022-11-29
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
IPC分类号： C23C14/06 , C23C14/32 , C23C16/26 , C23C16/52 , C23C14/35 , C23C14/54 , C23C14/02 , C23C14/16 , C23C28/00 , C23C14/58 , C23C16/56 , F17C3/12
摘要： 本发明揭示了复合阻氢涂层加工方法及复合阻氢涂层，其中加工方法得到的第三阻氢层不存在晶体材料的晶界缺陷，具有极佳的阻氢性能，其为表层能够极大地增加渗透表层的难度；第一、第二阻氢层采用闭合非平衡磁控溅射工艺加工，使得它们的晶粒尺寸更细小，涂层致密性高，能够使它们自身的阻氢性能极大改善；将三种阻氢层叠加在一起，使得氢原子渗透到不同层的渗透难度呈几何倍数的增加。采用相对较低的工艺温度，一来，使得第一、第二阻氢层的晶粒不会过渡增大从而获得晶粒小且密实的涂层，二来，可以保证第三阻氢层具有足够的硬度及避免温度过高容易使基材回火导致易变形进而使所述第一、第二、第三阻氢层受影响失效的问题。
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公开(公告)号：CN112111717A
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN202010902092.8
申请日：2020-09-01
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
摘要： 本发明揭示了轴瓦复合涂层加工方法及基于PVD技术的轴瓦复合涂层，其中加工方法包括对轴瓦进行清洗；在轴瓦表面沉积金属底层；在金属底层上交替沉积镶嵌层和功能层至涂层总厚度达到目标值且最上层为功能层，镶嵌层的厚度不超过200纳米且其材料不同于功能层的材料，功能层的厚度不超过3微米；在功能层上沉积镶嵌层之前及在镶嵌层上沉积功能层之前，将轴瓦降温至160℃以下。本方案通过设置纳米镶嵌层、功能层的厚度以及增加冷却工艺，通过多种措施的结合，最大程度降低复合涂层中晶粒尺寸地过渡增大及柱状晶的形成，使得最终获得的复合涂层具备晶粒细化，材料密度高、表面粗糙度低、表面结构致密及在较大厚度时能具有较好结合力的优点。
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公开(公告)号：CN110453200A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910758586.0
申请日：2019-08-16
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C14/50
摘要： 本发明揭示了片材纵置运输小车及气相沉积设备，其中运输小车包括高窄且纵置易倾倒的车主体，车主体上设置有至少一组限位块和锁扣，一组限位块和锁扣与车主体配合形成一可纵向放置片材并将片材限位于车主体上的空间；车主体纵置于一排导向滚轮上且由导向滚轮驱动移动，一排导向滚轮可转动地设置于轮座上且连接驱动它们自转的动力机构，车主体通过磁力吸附保持摆正状态。本方案通过高窄的车体结构以及磁力吸附保持小车的摆正状态，既能够减少设备腔体的水平空间，又能够充分缩短阀门的开闭时间及打开宽度，从而可以有效的提高加工效率及避免不同腔体之间的气体交换，还可以减少掉落到工件上的杂质和灰尘等，有利于改善沉积质量。
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公开(公告)号：CN219041604U
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202223227418.5
申请日：2022-12-02
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
IPC分类号： H02K49/10 , H02K5/16 , H02K1/278 , H02K1/2791
摘要： 本实用新型揭示了磁耦合驱动装置及磁耦合传动器，其中磁耦合驱动装置包括外壳，外壳内可自转地设置有第一转子，第一转子连接驱动其自转的驱动器，第一转子中共轴设置有与其具有相对旋转运动的密封壳体，密封壳体内共轴且可相对其自转地设置有第二转子，第二转子上设置有一圈内磁体，第一转子上设置有一圈围设在内磁体外围的外磁体，内磁体与外磁体一一对应，位置正对的一对内磁体和外磁体的相对侧的磁极相反，密封壳体包括位于外壳的第二端外的密封法兰。本实用新型采用外磁体围设在内磁体外周的结构，侧面相对能够有更大的磁吸面积，能够有效提高扭矩传递的能力，通过对内外磁体的数量及尺寸设计，使得磁耦合驱动装置能够传递扭矩达到13Nm。
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公开(公告)号：CN211595782U
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201921996244.4
申请日：2019-11-19
申请人： 星弧涂层新材料科技(苏州)股份有限公司
摘要： 本实用新型揭示了电装阀板批量沉积装置，包括用于连接转轴的载体，所述载体的外表面可拆卸的设置有至少一挡条，所述挡条上形成有延伸到其两端的卡槽，所述卡槽的下端设置有封堵其下端开口的挡块，所述卡槽内可拆卸地限位有多个夹持块，所述夹持块的厚度不小于电装阀板的厚度，相邻两个夹持块可形成一夹持空间。本方案设计精巧，结构简单，通过固定在卡槽中的夹持块将电装阀板夹持固定，从而可以有效的对电装阀板的侧壁及底面进行遮蔽，电装阀板从而为有效的沉积创造了条件，并且，一个卡槽上可以固定多个电装阀板，有效的实现了批量沉积。
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