流量计
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108139250A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201680059781.9

    申请日:2016-10-05

    Abstract: 本发明能够得到能够简单地取得与在供被计量气体通过的场所露出的导体的电连接的流量计。该流量计具备引线和载置于上述引线的电路部件,且具有利用树脂对上述引线的一部分进行模制而成的封装体,该流量计中,上述封装体设有露出部,该露出部使上述引线的一部分从上述树脂材料露出,且与构成副通路的一部分的导体电连接。

    流量计
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108139250B

    公开(公告)日:2020-02-28

    申请号:CN201680059781.9

    申请日:2016-10-05

    Abstract: 本发明能够得到能够简单地取得与在供被计量气体通过的场所露出的导体的电连接的流量计。该流量计具备引线框架和载置于上述引线框架的电路部件,且具有利用树脂材料对上述引线框架的一部分进行模制而成的封装体,该流量计中,上述封装体设有露出部,该露出部使上述引线框架的一部分从上述树脂材料露出,且与构成副通路的一部分的导体电连接。

    热式流量计的制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105378441A

    公开(公告)日:2016-03-02

    申请号:CN201480034692.X

    申请日:2014-02-07

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/684 G01F5/00

    Abstract: 本发明的目的在于,在膜片结构部的附近具有使用模具而形成的树脂部的结构的热式流量计中,防止膜片结构部在模具按压时被破坏,为此,在热式流量计的制造方法中,以在膜片(201)的四周,对树脂部(104)进行模塑的模具所形成的按压力的作用部位于基板倾斜部(202a)的外侧的方式设定模具(14),该热式流量计的制造方法是将气体流量测定元件(200)支承在支承构件(102b)、(111)上,并利用通过模塑而形成的树脂部(104)被覆气体流量测定元件(200)和支承构件(102b)、(111),该气体流量测定元件(200)包括:空腔部(202),其由相对于基板面而倾斜的基板倾斜部(202a)围成;膜片(201),其覆盖空腔部;以及电阻,其形成于膜片(201)上。

    热式空气流量计
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN105408727A

    公开(公告)日:2016-03-16

    申请号:CN201480041230.0

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/684 G01F1/6842 G01F1/692 G01F5/00 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计,该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此,在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301),传感器部件(100)由第一树脂模制成形,箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中,传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301),具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

    热式空气流量计
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108458762B

    公开(公告)日:2020-05-15

    申请号:CN201810190200.6

    申请日:2013-12-13

    Abstract: 为了提供测量精度高的热式流量计,采用以下结构:具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI,上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上,设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的 轴平行。

    热式流量计的制造方法
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105378441B

    公开(公告)日:2019-07-12

    申请号:CN201480034692.X

    申请日:2014-02-07

    CPC classification number: G01F1/692 G01F1/684 G01F5/00

    Abstract: 本发明的目的在于,在膜片结构部的附近具有使用模具而形成的树脂部的结构的热式流量计中,防止膜片结构部在模具按压时被破坏,为此,在热式流量计的制造方法中,以在膜片(201)的四周,对树脂部(104)进行模塑的模具所形成的按压力的作用部位于基板倾斜部(202a)的外侧的方式设定模具,该热式流量计的制造方法是将气体流量测定元件(200)支承在支承构件(102b)、(111)上,并利用通过模塑而形成的树脂部(104)被覆气体流量测定元件(200)和支承构件(102b)、(111),该气体流量测定元件(200)包括:空腔部(202),其由相对于基板面而倾斜的基板倾斜部(202a)围成;膜片(201),其覆盖空腔部;以及电阻,其形成于膜片(201)上。

    热式空气流量计
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN105408727B

    公开(公告)日:2018-11-16

    申请号:CN201480041230.0

    申请日:2014-02-03

    CPC classification number: G01F1/684 G01F1/6842 G01F1/692 G01F5/00 G01F15/14

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计,该热式空气流量计确保流量检测部的高的定位精度、并降低产生于LSI内的电阻的热应力的影响。因此,在具备通过将具备电阻(7)的LSI3与流量检测部(4a)以流量检测部(4a)的至少一部分露出的方式嵌入模制而构成的传感器部件(100)、具有副通路(305i、305o、305s)将流量检测部(4a)配置于副通路(305s)内并收纳传感器部件(100)的箱体(301),传感器部件(100)由第一树脂模制成形,箱体(301)由第二树脂模制成形的热式空气流量计中,传感器部件(100)利用形成第二树脂固定于箱体(301),具备相对于传感器部件(100)产生与流量检测部(4a)的露出面平行的方向的拉伸应力的树脂结构(20、21)。

    热式空气流量计
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108458762A

    公开(公告)日:2018-08-28

    申请号:CN201810190200.6

    申请日:2013-12-13

    Abstract: 为了提供测量精度高的热式流量计,采用以下结构:具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI,上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上,设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的 轴平行。

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