公开(公告)号：CN105378441A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201480034692.X

申请日：2014-02-07

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 石塚典男 ,  绪方公俊 ,  河野务 ,  渡边翼 ,  田代忍 ,  德安昇

IPC: G01F1/684 ,  G01F1/692

CPC classification number: G01F1/692 ,  G01F1/684 ,  G01F5/00

Abstract: 本发明的目的在于，在膜片结构部的附近具有使用模具而形成的树脂部的结构的热式流量计中，防止膜片结构部在模具按压时被破坏，为此，在热式流量计的制造方法中，以在膜片(201)的四周，对树脂部(104)进行模塑的模具所形成的按压力的作用部位于基板倾斜部(202a)的外侧的方式设定模具(14)，该热式流量计的制造方法是将气体流量测定元件(200)支承在支承构件(102b)、(111)上，并利用通过模塑而形成的树脂部(104)被覆气体流量测定元件(200)和支承构件(102b)、(111)，该气体流量测定元件(200)包括：空腔部(202)，其由相对于基板面而倾斜的基板倾斜部(202a)围成；膜片(201)，其覆盖空腔部；以及电阻，其形成于膜片(201)上。

公开(公告)号：CN105378441B

公开(公告)日：2019-07-12

申请号：CN201480034692.X

申请日：2014-02-07

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 石塚典男 ,  绪方公俊 ,  河野务 ,  渡边翼 ,  田代忍 ,  德安昇

IPC: G01F1/684 ,  G01F1/692

CPC classification number: G01F1/692 ,  G01F1/684 ,  G01F5/00

Abstract: 本发明的目的在于，在膜片结构部的附近具有使用模具而形成的树脂部的结构的热式流量计中，防止膜片结构部在模具按压时被破坏，为此，在热式流量计的制造方法中，以在膜片(201)的四周，对树脂部(104)进行模塑的模具所形成的按压力的作用部位于基板倾斜部(202a)的外侧的方式设定模具，该热式流量计的制造方法是将气体流量测定元件(200)支承在支承构件(102b)、(111)上，并利用通过模塑而形成的树脂部(104)被覆气体流量测定元件(200)和支承构件(102b)、(111)，该气体流量测定元件(200)包括：空腔部(202)，其由相对于基板面而倾斜的基板倾斜部(202a)围成；膜片(201)，其覆盖空腔部；以及电阻，其形成于膜片(201)上。