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公开(公告)号:CN101278236B
公开(公告)日:2013-11-27
申请号:CN200680036927.4
申请日:2006-08-08
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , G03F7/033 , C08F299/06
CPC classification number: C08F290/06 , C08F283/006 , C08F290/147 , C08F299/00 , C08F299/06 , C08G18/672 , C08G18/755 , C08L75/14 , C09D175/16 , G03F7/027 , C08G18/44
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物系含有(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、以及(D)双氰胺和/或其衍生物者,其中该(B)光聚合性化合物含有(B1)分子内具有尿烷键及乙烯性不饱和基团且重均分子量为3500~100000的化合物。
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公开(公告)号:CN102662306B
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201210142249.7
申请日:2007-04-13
Applicant: 日立化成株式会社
Abstract: 本发明提供一种顺次层叠支持体、感光层、保护膜而成的感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法,所述感光层由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及最大吸收波长为370~420nm的化合物的感光性树脂组合物形成,所述保护膜是以聚丙烯为主要成分。
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公开(公告)号:CN101903814B
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN200880121017.5
申请日:2008-12-11
Applicant: 日立化成株式会社
IPC: G02B6/122
CPC classification number: G02B6/138 , G02B6/1221
Abstract: 本发明提供一种光波导,其为在含有无机填充材料的树脂基板上,至少依次层叠有紫外线吸收层、下部包层、图形化的芯层以及上部包层的光波导,其特征在于,芯层的图形化是通过曝光和显影来进行的,并且,紫外线吸收层的厚度为10~50μm。本发明还提供一种光波导的制造方法,其具有:在含有无机填充材料的树脂基板上形成紫外线吸收层的工序;在该紫外线吸收层上形成下部包层的工序;在下部包层上形成芯层的工序;对芯层曝光来转印规定形状的图形的工序;进行显影来形成芯图形的工序;以及在该图形化的芯层上形成上部包层的工序。根据本发明能够制造具有高分辨率芯图形的光波导。
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公开(公告)号:CN107850839A
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201680039640.0
申请日:2016-07-07
Applicant: 日立化成株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够形成微小的脱落少的抗蚀剂图案的感光性元件,本发明提供一种感光性元件,其依次具备支撑膜、中间层和感光层,所述支撑膜的厚度大于或等于20μm,该支撑膜中所含的直径大于或等于5μm的粒子的数量为小于或等于30个/mm2。
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