公开(公告)号：CN107850839A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680039640.0

申请日：2016-07-07

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  小野博史 ,  松村辽 ,  大桥武志 ,  吉回公博 ,  阿部弘行 ,  大友聪

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够形成微小的脱落少的抗蚀剂图案的感光性元件，本发明提供一种感光性元件，其依次具备支撑膜、中间层和感光层，所述支撑膜的厚度大于或等于20μm，该支撑膜中所含的直径大于或等于5μm的粒子的数量为小于或等于30个/mm2。