公开(公告)号：CN110023837A

公开(公告)日：2019-07-16

申请号：CN201680091251.2

申请日：2016-12-02

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  松村辽

IPC: G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种感光性元件(1)，其为具备支撑膜(10)和配置在支撑膜(10)上的感光层(20)的感光性元件(1)，其中，感光层(20)含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的光聚合性化合物和光聚合引发剂，支撑膜(10)的靠感光层(20)侧的主面(12)上的直径为2μm以上的缺陷的数目是每2mm2为30个以下。

公开(公告)号：CN110225665A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201910501676.1

申请日：2016-07-20

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  小野博史 ,  松村辽

IPC: H05K3/06 ,  G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明提供一种感光性元件、阻挡层形成用树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法。所述感光性元件依次具备支撑膜、阻挡层和感光层，上述阻挡层含有水溶性树脂和碳数大于或等于3的醇类，其即使不使用剥离促进剂也能够提高阻挡层与支撑膜的剥离性。

公开(公告)号：CN107924130A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680044650.3

申请日：2016-07-20

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  小野博史 ,  松村辽

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/11 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明的目的在于提供一种感光性元件，其即使不使用剥离促进剂也能够提高阻挡层与支撑膜的剥离性；提供一种感光性元件，其依次具备支撑膜、阻挡层和感光层，上述阻挡层含有水溶性树脂和碳数大于或等于3的醇类。

公开(公告)号：CN110161802A

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201910501662.X

申请日：2016-07-20

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  小野博史 ,  松村辽

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明提供一种感光性元件、阻挡层形成用树脂组合物、抗蚀剂图案的形成方法以及印刷配线板的制造方法。所述阻挡层形成用树脂组合物用于形成依次具备支撑膜、阻挡层和感光层的感光性元件中的阻挡层，且含有水溶性树脂、碳数大于或等于3的醇类和水。所述感光性元件依次具备支撑膜、阻挡层和感光层，其即使不使用剥离促进剂也能够提高阻挡层与支撑膜的剥离性。

公开(公告)号：CN107850839A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680039640.0

申请日：2016-07-07

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  小野博史 ,  松村辽 ,  大桥武志 ,  吉回公博 ,  阿部弘行 ,  大友聪

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够形成微小的脱落少的抗蚀剂图案的感光性元件，本发明提供一种感光性元件，其依次具备支撑膜、中间层和感光层，所述支撑膜的厚度大于或等于20μm，该支撑膜中所含的直径大于或等于5μm的粒子的数量为小于或等于30个/mm2。