公开(公告)号：CN101278236B

公开(公告)日：2013-11-27

申请号：CN200680036927.4

申请日：2006-08-08

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 大桥武志 ,  吉田哲也 ,  大友聪

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/033 ,  C08F299/06

CPC classification number: C08F290/06 ,  C08F283/006 ,  C08F290/147 ,  C08F299/00 ,  C08F299/06 ,  C08G18/672 ,  C08G18/755 ,  C08L75/14 ,  C09D175/16 ,  G03F7/027 ,  C08G18/44

Abstract: 本发明的感光性树脂组合物系含有(A)具有羧基的粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、以及(D)双氰胺和/或其衍生物者，其中该(B)光聚合性化合物含有(B1)分子内具有尿烷键及乙烯性不饱和基团且重均分子量为3500～100000的化合物。

公开(公告)号：CN107850839A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680039640.0

申请日：2016-07-07

Applicant: 日立化成株式会社

Inventor： 粂壮和 ,  小野博史 ,  松村辽 ,  大桥武志 ,  吉回公博 ,  阿部弘行 ,  大友聪

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/09 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够形成微小的脱落少的抗蚀剂图案的感光性元件，本发明提供一种感光性元件，其依次具备支撑膜、中间层和感光层，所述支撑膜的厚度大于或等于20μm，该支撑膜中所含的直径大于或等于5μm的粒子的数量为小于或等于30个/mm2。