公开(公告)号：CN101346805A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200680049346.4

申请日：2006-12-22

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 马渕胜美 ,  赤星晴夫 ,  羽广昌信 ,  樱田刚史 ,  野村丰

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/3212 ,  C09G1/04

Abstract: 本发明提供一种CMP研磨液，它是在研磨时与氧化剂混合使用的CMP研磨液，它含有铜防锈剂、水溶性高分子、pH调整剂及水，基本上不含磨料；通过使用这种CMP研磨液，可以在对铜进行化学研磨时有效地抑制凹状缺陷，从而形成可靠性高的布线。上述防锈剂、水溶性高分子以及氧化剂的含量，优选相对于每1升上述CMP研磨液，分别为0.1～5重量％、0.05～5重量％以及0.01～5M，上述pH调整剂的量，为用于将上述CMP研磨液的pH值调整至1.5～2.5的必需量。

公开(公告)号：CN101346805B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200680049346.4

申请日：2006-12-22

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 马渕胜美 ,  赤星晴夫 ,  羽广昌信 ,  樱田刚史 ,  野村丰

IPC: H01L21/304 ,  B24B37/00 ,  C09K3/14

CPC classification number: H01L21/3212 ,  C09G1/04

Abstract: 本发明提供一种CMP研磨液，它是在研磨时与氧化剂混合使用的CMP研磨液，它含有铜防锈剂、水溶性高分子、pH调整剂及水，基本上不含磨料；通过使用这种CMP研磨液，可以在对铜进行化学研磨时有效地抑制凹状缺陷，从而形成可靠性高的布线。上述防锈剂、水溶性高分子以及氧化剂的含量，优选相对于每1升上述CMP研磨液，分别为0.1～5重量％、0.05～5重量％以及0.01～5M，上述pH调整剂的量，为用于将上述CMP研磨液的pH值调整至1.5～2.5的必需量。

公开(公告)号：CN101157788A

公开(公告)日：2008-04-09

申请号：CN200710162020.9

申请日：2007-09-29

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 天羽悟 ,  赤星晴夫 ,  清水浩 ,  塙明德

IPC: C08L47/00 ,  C08K9/04 ,  C08J5/24 ,  B32B15/085 ,  H05K1/03

CPC classification number: B32B5/02 ,  B32B27/04 ,  C08F290/06 ,  C08K5/0025 ,  C08L53/02 ,  C08L53/025 ,  H05K1/032 ,  H05K1/0373 ,  H05K3/4626 ,  H05K2201/012 ,  H05K2201/0158 ,  H05K2201/0209 ,  Y10S428/901 ,  Y10T428/31757 ,  Y10T442/2631 ,  Y10T442/2738 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明的课题是得到不损害高频率领域的介电特性，抑制1，2－聚丁二烯树脂组合物的相分离，成型性、介电特性、耐热性、粘结性优异的组合物以及使用其而形成的多层印刷基板。本发明涉及聚丁二烯树脂组合物以及使用其而制造的预浸料、层压板以及印刷基板，所述聚丁二烯树脂组合物的特征在于，含有具有1，2－聚丁二烯单元的数均分子量为1000～20000的交联成分(A)、在1分钟的半衰期温度为80～140℃的自由基聚合引发剂(B)和在1分钟的半衰期温度为170～230℃的自由基聚合引发剂(C)，以(A)成分作为100重量份，含有3～10重量份的(B)成分、含有5～15重量份的(C)成分。

公开(公告)号：CN101157788B

公开(公告)日：2010-11-24

申请号：CN200710162020.9

申请日：2007-09-29

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 天羽悟 ,  赤星晴夫 ,  清水浩 ,  塙明德

IPC: C08L47/00 ,  C08K9/04 ,  C08J5/24 ,  B32B15/085 ,  H05K1/03

CPC classification number: B32B5/02 ,  B32B27/04 ,  C08F290/06 ,  C08K5/0025 ,  C08L53/02 ,  C08L53/025 ,  H05K1/032 ,  H05K1/0373 ,  H05K3/4626 ,  H05K2201/012 ,  H05K2201/0158 ,  H05K2201/0209 ,  Y10S428/901 ,  Y10T428/31757 ,  Y10T442/2631 ,  Y10T442/2738 ,  C08L2666/02

Abstract: 本发明的课题是得到不损害高频率领域的介电特性，抑制1，2-聚丁二烯树脂组合物的相分离，成型性、介电特性、耐热性、粘结性优异的组合物以及使用其而形成的多层印刷基板。本发明涉及聚丁二烯树脂组合物以及使用其而制造的预浸料、层压板以及印刷基板，所述聚丁二烯树脂组合物的特征在于，含有具有1，2-聚丁二烯单元的数均分子量为1000～20000的交联成分(A)、在1分钟的半衰期温度为80～140℃的自由基聚合引发剂(B)和在1分钟的半衰期温度为170～230℃的自由基聚合引发剂(C)，以(A)成分作为100重量份，含有3～10重量份的(B)成分、含有5～15重量份的(C)成分。