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公开(公告)号:CN1432141A
公开(公告)日:2003-07-23
申请号:CN01810239.5
申请日:2001-05-29
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/031 , G03F7/027 , G03F7/322 , H05K3/0073 , H05K3/0094 , H05K3/064 , H05K2203/0769 , H05K2203/0793 , H05K2203/1394 , Y10S430/121
Abstract: 本发明是满足以下(1)和(2)的感光性树脂组合物:(1)对具有37~42μm厚度的上述感光性树脂组合物层,以下列条件喷射喷雾1.0重量%碳酸钠水溶液时,上述感光性树脂组合物层能够在20秒以内被除去。其中,上述条件是:上述喷雾的喷嘴内径为1.2mm,喷雾压力为0.05MPa,上述喷雾喷嘴与上述感光性树脂组合物层最近的点和上述感光性树脂组合物层的距离为50mm。(2)在有直径6mm的孔3个相连、长度16mm的三连孔18个的镀铜层压板上,层叠有上述厚度的感光性树脂组合物层,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,对该硬化膜以上述条件喷雾喷射1.0重量%碳酸钠水溶液36秒钟×3次时,孔破裂数在5个以下。
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公开(公告)号:CN102778815A
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN201210141658.5
申请日:2012-05-09
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
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公开(公告)号:CN100541328C
公开(公告)日:2009-09-16
申请号:CN200510079627.1
申请日:2001-05-29
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/033
Abstract: 本发明是满足以下(1)和(2)的感光性树脂组合物:(1)对具有37~42μm厚度的上述感光性树脂组合物层,以下列条件喷射喷雾1.0重量%碳酸钠水溶液时,上述感光生树脂组合物层能够在20秒以内被除去。其中,上述条件是:上述喷雾的喷嘴内径为1.2mm,喷雾压力为0.05MPa,上述喷雾喷嘴与上述感光性树脂组合物层最近的点和上述感光性树脂组合物层的距离为50mm。(2)在有直径6mm的孔3个相连、长度16mm的三连孔18个的镀铜层压板上,层叠有上述厚度的感光性树脂组合物层,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,对该硬化膜以上述条件喷雾喷射1.0重量%碳酸钠水溶液36秒钟×3次时,孔破裂数在5个以下。
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公开(公告)号:CN1228688C
公开(公告)日:2005-11-23
申请号:CN01810239.5
申请日:2001-05-29
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/031 , G03F7/027 , G03F7/322 , H05K3/0073 , H05K3/0094 , H05K3/064 , H05K2203/0769 , H05K2203/0793 , H05K2203/1394 , Y10S430/121
Abstract: 本发明是满足以下(1)和(2)的感光性树脂组合物:(1)对具有37~42μm厚度的上述感光性树脂组合物层,以下列条件喷射喷雾1.0重量%碳酸钠水溶液时,上述感光性树脂组合物层能够在20秒以内被除去。其中,上述条件是:上述喷雾的喷嘴内径为1.2mm,喷雾压力为0.05MPa,上述喷雾喷嘴与上述感光性树脂组合物层最近的点和上述感光性树脂组合物层的距离为50mm。(2)在有直径6mm的孔3个相连、长度16mm的三连孔18个的镀铜层压板上,层叠有上述厚度的感光性树脂组合物层,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,对该硬化膜以上述条件喷雾喷射1.0重量%碳酸钠水溶液36秒钟×3次时,孔破裂数在5个以下。
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公开(公告)号:CN109324480A
公开(公告)日:2019-02-12
申请号:CN201811138918.7
申请日:2012-05-09
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法,所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂,(A)成分含有50~80质量%的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5~40质量%的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1~20质量%的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5~30质量%的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
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公开(公告)号:CN1721991A
公开(公告)日:2006-01-18
申请号:CN200510079627.1
申请日:2001-05-29
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/033
Abstract: 本发明是满足以下(1)和(2)的感光性树脂组合物:(1)对具有37~42μm厚度的上述感光性树脂组合物层,以下列条件喷射喷雾1.0重量%碳酸钠水溶液时,上述感光性树脂组合物层能够在20秒以内被除去。其中,上述条件是:上述喷雾的喷嘴内径为1.2mm,喷雾压力为0.05MPa,上述喷雾喷嘴与上述感光性树脂组合物层最近的点和上述感光性树脂组合物层的距离为50mm。(2)在有直径6mm的孔3个相连、长度16mm的三连孔18个的镀铜层压板上,层叠有上述厚度的感光性树脂组合物层,以能使41段灰梯尺中24段硬化的曝光量使之光硬化得到硬化膜,对该硬化膜以上述条件喷雾喷射1.0重量%碳酸钠水溶液36秒钟×3次时,孔破裂数在5个以下。
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