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公开(公告)号：CN102981357A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210325546.5
申请日：2012-09-05
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物、感光性元件及抗蚀剂图案的形成方法。该抗蚀剂图案的形成方法具备：在基板上形成含有粘合剂聚合物、具有烯键式不饱和键的聚合性化合物以及由下述通式(1)表示的光聚合引发剂的感光性树脂组合物层的工序；曝光工序，该工序在所述感光性树脂组合物层的至少一部分区域中，将在以碳弧灯、水银蒸气弧灯、超高压水银灯、高压水银灯或者氙灯作为光源的光中的波长为350nm以下的光的至少一部分被除去后的活性光线以图案状进行直接描绘，从而形成光固化部；和显影工序，该工序除去所述光固化部以外的区域。式(1)中，R1表示卤原子、氨基、羧基、烷基、烷氧基或者烷基氨基。m表示0~5的整数。
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公开(公告)号：CN102778815A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210141658.5
申请日：2012-05-09
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法，所述感光性树脂组合物含有（A）粘合剂聚合物、（B）具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，（A）成分含有50～80质量%的（a1）来自（甲基）丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5～40质量%的（a2）来自苯乙烯衍生物的结构单元、1～20质量%的（a3）来自（甲基）丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5～30质量%的（a4）来自（甲基）丙烯酸的结构单元。
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公开(公告)号：CN102007451A
公开(公告)日：2011-04-06
申请号：CN200980113322.4
申请日：2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂，其中，(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20～100质量ppm。
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公开(公告)号：CN105425544A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201511030860.0
申请日：2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)粘合剂聚合物、(B)分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)阻聚剂，其中，(D)阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20～100质量ppm。
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公开(公告)号：CN103792788A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201310752058.7
申请日：2009-04-24
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/027 , G03F7/0045
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有（A）粘合剂聚合物、（B）分子内具有乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、（C）光聚合引发剂及（D）阻聚剂，其中，（D）阻聚剂的含有量以组合物中的固体成分总量作为基准为20～100质量ppm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102754032A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201080063100.9
申请日：2010-12-14
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有（A）粘合剂聚合物、（B）光聚合性化合物和（C）光聚合引发剂，（B）光聚合性化合物含有下述通式（I）所示的化合物，所述感光性树脂组合物在利用直接描绘法的抗蚀图形的形成中使用。（式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或甲基，n表示0～50的整数）。
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公开(公告)号：CN101421671B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780013593.3
申请日：2007-04-13
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种顺次层叠支持体、感光层、保护膜而成的感光性元件，所述感光层由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及最大吸收波长为370～420nm的化合物的感光性树脂组合物形成，所述保护膜是以聚丙烯为主要成分。
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公开(公告)号：CN102375341A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110219271.2
申请日：2011-07-28
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供光灵敏度、盖孔可靠性、密合性和析像度优异的感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的制造方法、印刷线路板的制造方法、引线框的制造方法以及印刷线路板。所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)至少具有一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)增感色素，其中，上述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物，上述(D)成分含有吡唑啉化合物。
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公开(公告)号：CN109324480A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201811138918.7
申请日：2012-05-09
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷线路板的制造方法，所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂，(A)成分含有50～80质量％的(a1)来自(甲基)丙烯酸苄基酯衍生物的结构单元、5～40质量％的(a2)来自苯乙烯衍生物的结构单元、1～20质量％的(a3)来自(甲基)丙烯酸烷基酯的结构单元、以及5～30质量％的(a4)来自(甲基)丙烯酸的结构单元。
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公开(公告)号：CN102375341B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201110219271.2
申请日：2011-07-28
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供光灵敏度、盖孔可靠性、密合性和析像度优异的感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图形的制造方法、印刷线路板的制造方法、引线框的制造方法以及印刷线路板。所述感光性树脂组合物含有(A)粘合剂聚合物、(B)至少具有一个乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)增感色素，其中，上述(B)成分含有具有来自于二季戊四醇的骨架的(甲基)丙烯酸酯化合物，上述(D)成分含有吡唑啉化合物。
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