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公开(公告)号：CN101855596A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200880115804.9
申请日：2008-11-07
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/40 , H01L21/027 , H01L23/12
CPC classification number: H01L23/3171 , G03F7/0236 , G03F7/40 , H01L23/3114 , H01L24/13 , H01L2224/05001 , H01L2224/05008 , H01L2224/05022 , H01L2224/05024 , H01L2224/05124 , H01L2224/05572 , H01L2224/056 , H01L2924/10253 , H01L2924/15788 , H01L2924/181 , Y10T428/24479 , H01L2924/00 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，其含有(A)通过具有碳数为4～100的不饱和烃基的化合物改性的酚醛树脂、(B)通过光生成酸的化合物、(C)热交联剂、和(D)溶剂。本发明的正型感光性树脂组合物，具有可以使用碱水溶液进行显影，以及能够以足够高的光感度和分辨率，形成粘附性优异且具有良好耐热冲击性的抗蚀图形的效果。
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公开(公告)号：CN103091987A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310016907.2
申请日：2009-12-16
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/00 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/312 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/40 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/563 , H01L21/76801 , H01L21/76802 , H01L23/293 , H01L23/525 , H01L23/5329 , H01L24/13 , H01L2224/10126 , H01L2224/73104 , H01L2224/73203 , H01L2924/01004 , H01L2924/01009 , H01L2924/01011 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01016 , H01L2924/01019 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01079 , H01L2924/10253 , H01L2924/30105 , H01L2924/3011 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件。本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN102257431A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN200980151852.8
申请日：2009-12-16
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/312 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/40 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/563 , H01L21/76801 , H01L21/76802 , H01L23/293 , H01L23/525 , H01L23/5329 , H01L24/13 , H01L2224/10126 , H01L2224/73104 , H01L2224/73203 , H01L2924/01004 , H01L2924/01009 , H01L2924/01011 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01016 , H01L2924/01019 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01079 , H01L2924/10253 , H01L2924/30105 , H01L2924/3011 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN102132212A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200980132590.0
申请日：2009-09-02
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/023 , G03F7/004 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0045 , G03F7/40 , H01L2224/13
Abstract: 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其含有(A)具有酚羟基的碱溶性树脂、(B)通过具有碳原子数为4～100的不饱和烃基的化合物进行了改性的酚醛树脂、(C)通过光生成酸的化合物、(D)通过加热使(A)成分和(B)成分交联的热交联剂、和(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN1911984B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200610091234.7
申请日：2002-10-11
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: C07C323/29 , C07C323/16 , C07C323/20 , C07C323/56 , C07C323/66 , C08G59/06
Abstract: 本发明提供下列的含硫酚醛树脂，是在酚性碳-酚性碳间含有以下式(1)：-R1-S-R2-S-R1- (1)。式中，R1表示碳数2至6的烃基，R2表示碳数1至10的烃基，所表示的有机基而成的，及下式(5)：式中，R5表示碳数2至3的亚烷基、R6表示碳数1至10的亚烷基、G表示氢原子、碳数1至10的烷基等所表示的酚衍生物，以及以(A)上式(5)的硬化剂及(B)环氧树脂为必需成份含有的环氧树脂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1308376C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN02828928.5
申请日：2002-10-11
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C08G75/14 , C07C323/16 , C08G59/62 , C09J163/00
Abstract: 本发明提供下列的含硫酚醛树脂，是在酚性碳-酚性碳间含有以下式(1)：-R1-S-R2-S-R1- (1)式中，R1表示碳数2至6的烃基，R2表示碳数1至10的烃基，所表示的有机基而成的，及下式(5)：式中，R5表示碳数2至3的亚烷基、R6表示碳数1至10的亚烷基、G表示氢原子、碳数1至10的烷基等所表示的酚衍生物，以及以(A)上式(5)的硬化剂及(B)环氧树脂为必需成份含有的环氧树脂组合物。
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公开(公告)号：CN1911984A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：CN200610091234.7
申请日：2002-10-11
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: C07C323/29 , C07C323/16 , C07C323/20 , C07C323/56 , C07C323/66 , C08G59/06
Abstract: 本发明提供下列的含硫酚醛树脂，是在酚性碳－酚性碳间含有式(1)式中，R1表示碳数2至6的烃基，R2表示碳数1至10的烃基，所表示的有机基而成的，及式(5)，式中，R5表示碳数2至3的亚烷基、R6表示碳数1至10的亚烷基、G表示氢原子、碳数1至10的烷基等所表示的酚衍生物，以及以(A)上式(5)的硬化剂及(B)环氧树脂为必需成份含有的环氧树脂组合物。
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公开(公告)号：CN1237090C
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN01814032.7
申请日：2001-08-09
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C08G61/08 , C09J165/00
CPC classification number: C08G61/08 , C09J165/00
Abstract: 一种嵌段共聚物的制造方法，在使用金属香芹烯配位化合物催化剂(C)，共聚合能够易位聚合的不饱和单环化合物(A)和能够易位聚合的不饱和多环化合物(B)时，首先混合不饱和单环化合物(A)和必要总量的金属香芹烯配位化合物催化剂(C)进行反应，然后加入不饱和多环化合物(B)进行反应。本发明还提供了由上述制造方法得到的嵌段共聚物和其用途。
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公开(公告)号：CN1625577A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN02828928.5
申请日：2002-10-11
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C08G75/02 , C08G75/14 , C08G59/62 , C07C323/66 , C07C323/60 , C07C323/16 , C07C323/20 , C07C323/56 , C07C323/29 , C09J163/00
CPC classification number: C07C323/29 , C07C323/16 , C07C323/20 , C07C323/56 , C07C323/66 , C08G59/06
Abstract: 本发明提供下列的含硫酚醛树脂，是在酚性碳－酚性碳间含有以下式(1)：－R1－S－R2－S－R1－ (1)式中，R1表示碳数2至6的烃基，R2表示碳数1至10的烃基，所表示的有机基而成的，及下式(5)：式中，R5表示碳数2至3的亚烷基、R6表示碳数1至10的亚烷基、G表示氢原子、碳数1至10的烷基等所表示的酚衍生物，以及以(A)上式(5)的硬化剂及(B)环氧树脂为必需成分含有的环氧树脂组合物。
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公开(公告)号：CN1446240A
公开(公告)日：2003-10-01
申请号：CN01814032.7
申请日：2001-08-09
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C08G61/08 , C09J165/00
CPC classification number: C08G61/08 , C09J165/00
Abstract: 一种嵌段共聚物的制造方法，在使用金属香芹烯配位化合物催化剂(C)，共聚合能够易位聚合的不饱和单环化合物(A)和能够易位聚合的不饱和多环化合物(B)时，首先混合不饱和单环化合物(A)和必要总量的金属香芹烯配位化合物催化剂(C)进行反应，然后加入不饱和多环化合物(B)进行反应。本发明还提供了由上述制造方法得到的嵌段共聚物和其用途。
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