公开(公告)号：CN1285667C

公开(公告)日：2006-11-22

申请号：CN02811258.X

申请日：2002-06-05

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 山下幸彦 ,  金丸健二 ,  斋藤晃一

IPC: C08L57/10 ,  C08L57/12 ,  C08L83/06 ,  C08J5/18 ,  G02B1/04

CPC classification number: C08L33/14 ,  C08L33/02 ,  C08L57/10 ,  C08L57/12 ,  C08L83/04 ,  C08L2312/00 ,  C08L2666/02 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/12

Abstract: 由混合在分子侧链和/或分子末端具有能够形成分子间氢键的乙烯基聚合物A及在分子侧链和/或分子骨架中具有能够形成分子间氢键的乙烯基聚合物B得到的形成了分子间氢键的树脂或者其混合物构成的，并在添加了式1中记载的结构的硅树脂而得到的假交联型树脂组合物，(1)(R表示CpH2p+1，p表示4或4以下的整数，n和m表示聚合度的整数)上述乙烯基聚合物A是在分子侧链和/或分子末端具有羧基或者羟基的聚合物和/共聚物，上述乙烯基聚合物B是在分子侧链和/或分子骨架中具有至少一个氮原子的聚合物和/或共聚物。按照本发明，提供了能够容易地进行聚合物共混的、具有新的性能表现的、特别由此具有的相反特性并存的树脂组合物。

公开(公告)号：CN1513031A

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN02811258.X

申请日：2002-06-05

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 山下幸彦 ,  金丸健二 ,  斋藤晃一

IPC: C08L57/10 ,  C08L57/12 ,  C08L83/06 ,  C08J5/18 ,  G02B1/04

CPC classification number: C08L33/14 ,  C08L33/02 ,  C08L57/10 ,  C08L57/12 ,  C08L83/04 ,  C08L2312/00 ,  C08L2666/02 ,  C08L2666/04 ,  C08L2666/12

Abstract: 由混合在分子侧链和/或分子末端具有能够形成分子间氢键的乙烯基聚合物A及在分子侧链和/或分子骨架中具有能够形成分子间氢键的乙烯基聚合物B得到的形成了分子间氢键的树脂或者其混合物构成的，并在添加了式1中记载的结构的硅树脂而得到的假交联型树脂组合物，(R表示CpH2p+1，p表示4或4以下的整数，n和m表示聚合度的整数)上述乙烯基聚合物A是在分子侧链和/或分子末端具有羧基或者羟基的聚合物和/共聚物，上述乙烯基聚合物B是在分子侧链和/或分子骨架中具有至少一个氮原子的聚合物和/或共聚物。按照本发明，提供了能够容易地进行聚合物共混的、具有新的性能表现的、特别由此具有的相反特性并存的树脂组合物。

公开(公告)号：CN103091987A

公开(公告)日：2013-05-08

申请号：CN201310016907.2

申请日：2009-12-16

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明涉及正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法、半导体装置以及电子器件。本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN102257431A

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：CN200980151852.8

申请日：2009-12-16

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 松谷宽 ,  上野巧 ,  亚历山大·尼古拉 ,  山下幸彦 ,  七海宪 ,  谷本明敏

IPC: G03F7/023 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/312 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0236 ,  G03F7/40 ,  H01L21/02118 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/563 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L23/293 ,  H01L23/525 ,  H01L23/5329 ,  H01L24/13 ,  H01L2224/10126 ,  H01L2224/73104 ,  H01L2224/73203 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01009 ,  H01L2924/01011 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01015 ,  H01L2924/01016 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明的正型感光性树脂组合物，含有具有酚羟基的碱可溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、和丙烯酸树脂。根据本发明的正型感光性树脂组合物，可以提供一种能够用碱水溶液显影，并且能够以充分高的灵敏度和分辨率形成粘附性和耐热冲击性优异的抗蚀图形的正型感光性树脂组合物。