公开(公告)号：CN100451725C

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200580019625.1

申请日：2005-12-28

Applicant: 日本电信电话株式会社

Inventor： 下川房男 ,  内山真吾 ,  山口城治 ,  佐藤诚 ,  笹仓久仁彦 ,  森田博文 ,  稻垣秀一郎 ,  町田克之 ,  石井仁

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

Abstract: 一种反射镜器件，包括：被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153)；被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103-1至103-4)；以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的抗静电结构(106)。该结构能够通过向抗静电结构(106)施加第二电势，来固定该反射镜(153)下表面的电势，并抑制该反射镜(153)的漂移。

公开(公告)号：CN1492508A

公开(公告)日：2004-04-28

申请号：CN03158647.3

申请日：2003-09-19

Applicant: 日本电信电话株式会社

Inventor： 浦野正美 ,  石井仁 ,  岛村俊重 ,  田边泰之 ,  町田克之 ,  阪田知巳

IPC: H01L27/00 ,  B81B5/00 ,  B81B7/02 ,  H01L21/00 ,  B81B1/00

CPC classification number: B81C1/00246 ,  B81C2203/0735

Abstract: 根据本发明带有微机电系统的半导体器件中，许多构成微机电系统的具有可移动部件的单元单片电路地安装在半导体衬底上，半导体衬底上的集成电路包括形成在其上的驱动电路、传感器电路、存储器和处理器。每个单元包括处理器、存储器、驱动电路和传感器电路。

公开(公告)号：CN100356566C

公开(公告)日：2007-12-19

申请号：CN03158647.3

申请日：2003-09-19

Applicant: 日本电信电话株式会社

Inventor： 浦野正美 ,  石井仁 ,  岛村俊重 ,  田边泰之 ,  町田克之 ,  阪田知巳

IPC: H01L27/00 ,  B81B5/00 ,  B81B7/02 ,  H01L21/00 ,  B81B1/00

CPC classification number: B81C1/00246 ,  B81C2203/0735

Abstract: 根据本发明带有微机电系统的半导体器件中，许多构成微机电系统的具有可移动部件的单元单片电路地安装在半导体衬底上，半导体衬底上的集成电路包括形成在其上的驱动电路、传感器电路、存储器和处理器。每个单元包括处理器、存储器、驱动电路和传感器电路。

公开(公告)号：CN1969217A

公开(公告)日：2007-05-23

申请号：CN200580019625.1

申请日：2005-12-28

Applicant: 日本电信电话株式会社

Inventor： 下川房男 ,  内山真吾 ,  山口城治 ,  佐藤诚 ,  笹仓久仁彦 ,  森田博文 ,  稻垣秀一郎 ,  町田克之 ,  石井仁

IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

Abstract: 一种反射镜器件，包括：被支撑成可相对于反射镜基板(151)转动的反射镜(153)；被形成在面对该反射镜基板(151)的电极基板(101)上的驱动电极(103－1至103－4)；以及被布置在该反射镜(153)和电极基板(101)之间的间隙中的抗静电结构(106)。该结构能够通过向抗静电结构(106)施加第二电势，来固定该反射镜(153)下表面的电势，并抑制该反射镜(153)的漂移。