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公开(公告)号：CN111834190A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010294659.8
申请日：2020-04-15
Applicant: 日本电产株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明提供一种等离子处理装置，其对载置于载物台的工件进行等离子处理，该等离子处理装置具有：检查电路部，其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查；等离子处理电路部，其用于上述等离子处理；以及第一切换部，其能够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路部的选择。上述检查电路部具有：检查用连接部，其包含于上述载物台，且在上述工件载置于上述载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情况下与上述工件电连接；以及计测部，其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查用电阻。
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公开(公告)号：CN115388692A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210577019.7
申请日：2022-05-25
Applicant: 日本电产株式会社
Inventor： 高桥大辅
Abstract: 本发明提供的热传导部件具备：在内部具有空间的壳体；配置在空间中的吸液芯构造体；以及配置在空间的工作介质。壳体具有第一板及第二板、第一槽部及第二槽部。第一板和第二板对置配置。第一槽部和第二槽部配置在第一板和第二板中的至少任一方，面向空间。热源接触部设置在第一板和第二板中的一方。从第一板及第二板的对置方向观察，第一槽部通过热源接触部上而向热源接触部的外侧延伸。从对置方向观察，第二槽部配置在热源接触部的外周部附近。
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公开(公告)号：CN111669885A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010093189.9
申请日：2020-02-14
Applicant: 日本电产株式会社
Inventor： 高桥大辅
IPC: H05H1/00
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，具备被施加从电源部输出的输出电压的电压施加电极，利用在上述电压施加电极和与上述电压施加电极对置的对置电极之间产生的等离子体对被处理物进行处理，上述等离子体处理装置具备：使上述电压施加电极与上述被处理物相对移动的促动器；配置在上述对置电极与上述促动器之间的绝缘部；以及检测经由上述对置电极流动的电流的电流检测部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111668084A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010097903.1
申请日：2020-02-18
Applicant: 日本电产株式会社
Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，具备工作台、和与载置在上述工作台上的被处理物对置地配置的对置电极部，利用在上述对置电极部与上述被处理物之间产生的等离子体对上述被处理物进行处理，上述等离子体处理装置具备：通过使上述工作台与上述对置电极部相对移动来调整上述被处理物与上述对置电极部之间的距离的移动机构；以及根据通过由电源部对上述对置电极部施加电压而产生的电流来控制上述移动机构的控制部。
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公开(公告)号：CN115388691A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202210577018.2
申请日：2022-05-25
Applicant: 日本电产株式会社
Inventor： 高桥大辅
IPC: F28D15/04
Abstract: 热传导部件具备：在内部具有空间的箱体；配置在空间的芯结构体；以及配置在空间的工作介质。箱体具有：对置配置的第一板及第二板；以及槽部。槽部配置在第一板及第二板的至少任一方，且面向空间。在第一板及第二板的一方配置有热源接触部。从第一板及第二板的对置方向观察，槽部将一端配置在热源接触部的外侧并进入到热源接触部上，槽部的另一端配置为超过槽部进入热源接触部的方向上的热源接触部的长度的1/2。
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公开(公告)号：CN114993082A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210193277.5
申请日：2022-03-01
Applicant: 日本电产株式会社
Abstract: 提供一种热传导部件及电子设备。热传导部件包括：壳体，所述壳体在内部具有空间；工作介质，所述工作介质配置在所述空间中；以及毛细芯结构体，所述毛细芯结构体配置在所述空间中，其中，壳体具有：第一区域；第二区域，所述第二区域相对于第一区域位于与壳体的厚度方向垂直的一个方向的一侧；以及第三区域，所述第三区域相对于第一区域位于一个方向的另一侧，第一区域具有与第二区域相连的第一端部和与第三区域相连的第二端部，毛细芯结构体配置于仅第二区域。
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公开(公告)号：CN217818298U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202221272038.0
申请日：2022-05-25
Applicant: 日本电产株式会社
Inventor： 高桥大辅
IPC: F28D15/04
Abstract: 本实用新型提供能够提高冷却效率的热传导部件。热传导部件具有第一箱体部、第二箱体部和第三箱体部。在沿第一方向延伸的第一箱体部的第一方向的一侧端部连接有向与第一方向交叉的第二方向的一侧延伸的第二箱体部。在第一箱体部的第一方向的另一侧端部连接有第三箱体部。第一箱体部、第二箱体部以及第三箱体部中的至少一个箱体部具有由一个板部和另一个板部包围而收纳工作介质的内部空间。第一箱体部具有配置于第一箱体部的第二方向的一侧端面的第一被加热部。第二箱体部具有配置于第二箱体部的第一方向的另一侧端面的第二被加热部。
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公开(公告)号：CN217818299U
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN202221274778.8
申请日：2022-05-25
Applicant: 日本电产株式会社
Inventor： 高桥大辅
IPC: F28D15/04
Abstract: 本实用新型涉及能够提高冷却效率的热传导部件。热传导部件的第二箱体部与沿第一方向延伸的第一箱体部的第一方向的一侧端部连接，并沿第二方向延伸。第三箱体部配置在比第二箱体部更靠第一方向的另一侧，与具有第一箱体部的基部连接。第三箱体部的至少一部分配置在比第二箱体部更靠第三方向的一侧。第一箱体部、第二箱体部和第三箱体部中的至少一个箱体部具有一个板部、与一个板部对置配置的另一个板部、以及由一个板部和另一个板部包围并收纳工作介质的内部空间。在第二箱体部的第一方向的另一侧端面配置有第一被加热部。在第三箱体部的第一方向的一侧端面配置有第二被加热部。
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