等离子体处理装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111668084A

    公开(公告)日:2020-09-15

    申请号:CN202010097903.1

    申请日:2020-02-18

    Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置,具备工作台、和与载置在上述工作台上的被处理物对置地配置的对置电极部,利用在上述对置电极部与上述被处理物之间产生的等离子体对上述被处理物进行处理,上述等离子体处理装置具备:通过使上述工作台与上述对置电极部相对移动来调整上述被处理物与上述对置电极部之间的距离的移动机构;以及根据通过由电源部对上述对置电极部施加电压而产生的电流来控制上述移动机构的控制部。

    位置推断系统和具有该位置推断系统的移动体

    公开(公告)号:CN110998473A

    公开(公告)日:2020-04-10

    申请号:CN201880053209.0

    申请日:2018-08-14

    Abstract: 本公开的位置推断系统(115)具有:处理器(106);以及存储器(107),其存储使处理器(106)进行动作的计算机程序。处理器(106)执行以下内容:从外界传感器(102)取得扫描数据,根据扫描数据而制作参照地图;进行新取得的最新扫描数据与参照地图的匹配,由此推断参照地图上的位置和姿势,并将最新扫描数据追加到参照地图中而更新所述参照地图;从多次更新后的参照地图中删除包含最新扫描数据的一部分以外的部分而进行参照地图的复位;以及根据复位前的参照地图而更新环境地图。

    液滴喷出装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110461608A

    公开(公告)日:2019-11-15

    申请号:CN201880021185.0

    申请日:2018-02-20

    Abstract: 本发明提供液滴喷出装置,能够在维持压电元件的响应性的同时增大移位量。液滴喷出装置(10)具有:液体贮存部(11),其具有液体喷出口(11b);隔膜(12),其使液体贮存部(11)的容积改变;承受部件(13),其固定于隔膜(12);以及压电元件(14),其对承受部件(13)施加加压振动。压电元件(14)相对于承受部件(13)不是固定或紧固的。

    涂布装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111822235B

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN202010323597.9

    申请日:2020-04-22

    Abstract: 本发明提供能够形成所期望形状的垫片的涂布装置。涂布装置(100)具备:针筒(10),其储存液剂;温度传感器(40),其测定针筒(10)周边的针筒周边温度;以及控制器(50),其控制对液剂赋予的压力。控制器(50)具有:液剂温度估算部(52),其基于液剂的传热特性和针筒周边温度的推移,估算液剂的液剂温度;以及压力设定部(53),其基于估算出的液剂温度,设定对液剂赋予的压力。

    涂布装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111822235A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN202010323597.9

    申请日:2020-04-22

    Abstract: 本发明提供能够形成所期望形状的垫片的涂布装置。涂布装置(100)具备:针筒(10),其储存液剂;温度传感器(40),其测定针筒(10)周边的针筒周边温度;以及控制器(50),其控制对液剂赋予的压力。控制器(50)具有:液剂温度估算部(52),其基于液剂的传热特性和针筒周边温度的推移,估算液剂的液剂温度;以及压力设定部(53),其基于估算出的液剂温度,设定对液剂赋予的压力。

    移动体、位置推断装置以及计算机程序

    公开(公告)号:CN111033426A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880053450.3

    申请日:2018-08-14

    Abstract: 本公开的装置具有:外界传感器(102),其扫描环境并周期性地输出扫描数据;存储装置(104),其存储环境地图;以及位置推断装置(106),其进行传感器数据与从存储装置(104)读出的环境地图的匹配,推断移动体(10)的位置和姿势。位置推断装置(106)根据移动体(10)的推断位置和推断姿势的历史来确定当前的移动体(10)的位置和推断的预测值,使用预测值而进行匹配。

    涂敷头和涂敷装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110167684A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201880006474.3

    申请日:2018-01-11

    Abstract: 涂敷头具有:主体部,其形成填充有涂敷液的压力室的一部分;接液膜,其形成所述压力室的另一部分;以及加压部,其通过使所述接液膜朝向所述压力室的内部挠曲而使所述涂敷液从与所述压力室连续的排出口排出,所述主体部具有容积变更部,该容积变更部能够变更所述接液膜为恒定状态下的所述压力室的容积。优选为,所述加压部使所述接液膜挠曲的方向包含与所述接液膜垂直的一个方向,所述容积变更部具有在所述一个方向上与所述接液膜对置的对置部。

    液剂涂敷方法、液剂涂敷机以及液态垫圈

    公开(公告)号:CN111744736A

    公开(公告)日:2020-10-09

    申请号:CN202010098088.0

    申请日:2020-02-18

    Abstract: 本发明提供呈有端状地连续涂敷液剂的涂敷方法,包括:将涂敷结束的状态下的液剂的第一端部以及第二端部之间的中途部分中的任一位置决定为涂敷开始位置及涂敷结束位置的工序;从上述涂敷开始位置至上述第一端部为止涂敷液剂的第一涂敷工序;从上述第一端部折回而至上述第二端部为止涂敷液剂的第二涂敷工序;以及从上述第二端部折回而至上述涂敷结束位置为止涂敷液剂的第三涂敷工序,在上述第二涂敷工序中要涂敷的液剂的至少一部分与在上述第一涂敷工序中涂敷的液剂在高度方向上重叠,并且在上述第三涂敷工序中要涂敷的液剂的至少一部分与在上述第二工序中涂敷的液剂在高度方向上重叠。

    移动体、位置推断装置以及计算机程序

    公开(公告)号:CN111033425A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880053276.2

    申请日:2018-08-14

    Abstract: 本公开的位置推断装置具有:外界传感器(102);存储装置(104),其存储多个部分环境地图,该多个部分环境地图包含通过坐标变换的关系而连结的第1部分环境地图和第2部分环境地图;以及位置推断装置(106),其进行来自外界传感器(102)的扫描数据与部分环境地图的匹配,推断移动体的位置和姿势。位置推断装置(106)在移动体(10)的推断位置从第1部分环境地图上移动到第2部分环境地图上时,根据坐标变换的关系来确定第1部分环境地图上的移动体的推断位置和推断姿势在第2部分环境地图上的对应位置和对应姿势,根据第1部分环境地图上的移动体的推断位置和推断姿势的历史来校正开始进行用于推断第2部分环境地图上的移动体的位置和姿势的匹配的时机下的第2部分环境地图上的对应位置和对应姿势,将校正后的对应位置和对应姿势作为初始值而进行匹配。

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