等离子处理装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111834190A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN202010294659.8

    申请日:2020-04-15

    Abstract: 本发明提供一种等离子处理装置,其对载置于载物台的工件进行等离子处理,该等离子处理装置具有:检查电路部,其用于上述工件向上述载物台的载置状态的检查;等离子处理电路部,其用于上述等离子处理;以及第一切换部,其能够进行上述检查电路部与上述等离子处理电路部的选择。上述检查电路部具有:检查用连接部,其包含于上述载物台,且在上述工件载置于上述载物台上的上述等离子处理用的预定位置的情况下与上述工件电连接;以及计测部,其设为能够计测包括上述工件与上述检查用连接部之间的电阻的检查用电阻。

    驱动装置、控制方法以及程序

    公开(公告)号:CN110870198A

    公开(公告)日:2020-03-06

    申请号:CN201880046242.0

    申请日:2018-07-25

    Abstract: 抑制驱动装置的电源装置中所配设的平滑电容器的劣化。驱动装置100包括输出部13、输入部11、整流电路15、开关电路17及控制器19。输入部11输入交流输入Vin。整流电路15具有平滑电容器SC,将交流输入Vin转换为整流输出Vout。开关电路17在输入阻抗为低的导通状态与输入阻抗比导通状态高的断开状态之间切换。控制器19在执行在导通状态与断开状态之间切换开关电路17的控制时,设定开始时机,以使得在从产生输入给平滑电容器SC的输入电流开始直至平滑电容器SC的电压达到极大值Vrmax为止的期间内包含电力供给期间Tps的开始时机达到比第一时机早的第二时机的期间的至少一部分。

    驱动装置、控制方法以及存储介质

    公开(公告)号:CN110870198B

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN201880046242.0

    申请日:2018-07-25

    Abstract: 本发明涉及一种驱动装置、控制方法以及存储介质,抑制驱动装置的电源装置中所配设的平滑电容器的劣化。驱动装置(100)包括输出部(13)、输入部(11)、整流电路(15)、开关电路(17)及控制器(19)。输入部输入交流输入。整流电路具有平滑电容器(SC),将交流输入转换为整流输出。开关电路在输入阻抗为低的导通状态与输入阻抗比导通状态高的断开状态之间切换。控制器在执行在导通状态与断开状态之间切换开关电路的控制时,设定开始时机,以使得在从产生输入给平滑电容器的输入电流开始直至平滑电容器的电压达到极大值为止的期间内包含电力供给期间的开始时机达到比第一时机早的第二时机的期间的至少一部分。

    交流直流转换电路
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111033998A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201880052781.5

    申请日:2018-06-12

    Abstract: 在使用降压型的交流直流转换电路输出高直流电压的同时,将交流输入的功率因数维持得较高。交流直流转换电路(1)具有输入部(11)、输出部(17)、第1副交流直流转换电路(13)以及第2副交流直流转换电路(15)。第1副交流直流转换电路(13)具有:电感元件(L),其一端经由开关电路(SW)与第1输入端子(I1)连接;第1电容器元件(C1),其一端与电感元件(L)的另一端连接,另一端与第1输出端子(O1)连接;第1整流元件(D1),其阴极侧与第2输入端子(I2)连接,阳极侧与第1输出端子(O1)连接。第2副交流直流转换电路(15)具有:电感元件(L);开关电路(SW);第2电容器元件(C2),其一端与电感元件(L)的另一端连接,另一端与第2输出端子(O2)连接;以及第2整流元件(D2),其阳极侧与第2输入端子(I2)连接,阴极侧与第2输出端子(O2)连接。

    电力转换电路、DC-DC转换器和AC-DC转换器

    公开(公告)号:CN213783142U

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201990000461.5

    申请日:2019-02-12

    Abstract: 提供电力转换电路、DC‑DC转换器和AC‑DC转换器。相比于正向转换器,能够应对更宽幅的输入电压。本公开涉及一种电力转换电路,其具有变压器、包含变压器的一次侧绕组的输入电路和包含变压器的二次侧绕组的输出电路。输入电路包含串联连接在一侧的输入端子与另一侧的输入端子之间的一次侧绕组和开关元件。输出电路包含二次侧绕组、将二次侧绕组的一端与输出的负极侧端子连接的第1电流线、将二次侧绕组的另一端与输出的正极侧端子连接的第2电流线、以与输出并联的方式与第1电流线和第2电流线连接的输出线圈以及设置于第1电流线和第2电流线中的至少1个的换向二极管。

    电力转换电路、DC-DC转换器和AC-DC转换器

    公开(公告)号:CN213185894U

    公开(公告)日:2021-05-11

    申请号:CN201990000466.8

    申请日:2019-02-12

    Abstract: 提供电力转换电路、DC‑DC转换器和AC‑DC转换器。在断开时缓和施加在开关元件上的电压。本实用新型涉及电力转换电路,其具有变压器、包含变压器的一次侧绕组的输入电路和包含变压器的二次侧绕组的输出电路。一次侧绕组具有下侧的第1绕组和上侧的第2绕组。输入电路包含第1绕组和第2绕组、介于第2绕组的下端与一侧的输入端子之间的一次侧线圈、介于第2绕组的上端与另一侧的输入端子之间的一次侧电容器、介于第1绕组的下端与另一侧的输入端子之间的第1开关元件以及介于第1绕组的上端与第2绕组的下端之间并且接通/断开的时机与第1开关元件实质上同步的第2开关元件。

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