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公开(公告)号:CN112299090A
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN202010742469.8
申请日:2020-07-29
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B65H20/02 , B65H27/00 , B65H23/00 , B65H37/04 , C03C17/245 , B32B37/10 , B32B37/06 , B32B37/08 , B32B38/10 , B32B38/00
Abstract: 本发明提供玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法。玻璃基材(1)的输送装置(11)具有:送出辊(21),该送出辊构成为,送出具有挠性的玻璃基材(1);卷取辊(41),该卷取辊构成为,卷取玻璃基材(1);以及第1驱动辊(22),该第1驱动辊配置于玻璃基材的输送方向上的送出辊(21)与卷取辊(41)之间,构成为被赋予用于输送玻璃基材的动力。第1驱动辊(22)构成为,在玻璃基材(1)与第1驱动辊(22)相接触的状态下,在玻璃基材中相对于与第1驱动辊(22)的表面相接触的接触面(51)而言相反的一侧的非接触面(52)不与其他输送构件(夹压辊(44))相接触。第1驱动辊(22)的表面具有0.8μm以下的最大高度粗糙度Rz。
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公开(公告)号:CN114318282A
公开(公告)日:2022-04-12
申请号:CN202111093101.4
申请日:2021-09-17
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供适合于在卷对卷方式的工艺中确保配置于比等离子体处理室靠下游的位置的成膜室的稳定的低压状态的光学薄膜的制造方法和光学薄膜制造装置。本发明的制造方法是一边以卷对卷方式输送工件薄膜一边制造光学薄膜的方法,包含等离子体处理室中的工序和成膜室(第2成膜室)中的工序。等离子体处理室具有在输送方向上配置于比室内的等离子体源靠上游的位置的第1排气口。在等离子体处理工序中,经由第1排气口对等离子体处理室进行排气,并对工件薄膜进行等离子体处理。在成膜工序中,在经由成膜室的第2排气口对成膜室进行排气从而将成膜室内维持在比等离子体处理室内的压力低的压力的同时,利用干式覆膜法在工件薄膜上进行成膜。
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公开(公告)号:CN111826630A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN202010323404.X
申请日:2020-04-22
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供一种溅射装置(1),其具有成膜辊(27)和多个成膜室(51、61、65、71、75)。多个成膜室(51、61、65、71、75)均具有靶单元(55)和划分出成膜室的壁部(52、62、66、72、76)。在壁部(52、62、66、72、76)设有排气口(15)。在第1剖视图中,在经过成膜辊中心(C1)和排气口中心(C2)的第1假想线(L1)上配置有靶单元(55)。
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公开(公告)号:CN112299090B
公开(公告)日:2024-10-25
申请号:CN202010742469.8
申请日:2020-07-29
Applicant: 日东电工株式会社
IPC: B65H20/02 , B65H27/00 , B65H23/00 , B65H37/04 , C03C17/245 , B32B37/10 , B32B37/06 , B32B37/08 , B32B38/10 , B32B38/00
Abstract: 本发明提供玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法。玻璃基材(1)的输送装置(11)具有:送出辊(21),该送出辊构成为,送出具有挠性的玻璃基材(1);卷取辊(41),该卷取辊构成为,卷取玻璃基材(1);以及第1驱动辊(22),该第1驱动辊配置于玻璃基材的输送方向上的送出辊(21)与卷取辊(41)之间,构成为被赋予用于输送玻璃基材的动力。第1驱动辊(22)构成为,在玻璃基材(1)与第1驱动辊(22)相接触的状态下,在玻璃基材中相对于与第1驱动辊(22)的表面相接触的接触面(51)而言相反的一侧的非接触面(52)不与其他输送构件(夹压辊(44))相接触。第1驱动辊(22)的表面具有0.8μm以下的最大高度粗糙度Rz。
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公开(公告)号:CN112299091A
公开(公告)日:2021-02-02
申请号:CN202010744394.7
申请日:2020-07-29
Applicant: 日东电工株式会社
Abstract: 本发明提供玻璃基材的输送装置、层叠玻璃的制造装置以及制造方法。玻璃基材(1)的输送装置(11)具有:送出辊(21),该送出辊(21)构成为,送出具有挠性的玻璃基材(1);卷取辊(41),该卷取辊(41)构成为,卷取玻璃基材(1);以及第1引导辊(26)、第2引导辊(28)、第3引导辊(31)、第4引导辊(38),它们配置于玻璃基材(1)的输送方向上的送出辊(21)与卷取辊(41)之间。第1引导辊(26)、第2引导辊(28)、第3引导辊(31)、第4引导辊(38)的表面具有1.0μm以上的最大高度粗糙度Rz。
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