相位差膜的制造方法及圆偏光板的制造方法与膜拉伸装置

    公开(公告)号:CN105593726B

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201580002109.1

    申请日:2015-04-07

    Abstract: 本发明提供一种对于沿斜向具有迟相轴的长条状的相位差膜,能够在精确地控制迟相轴的方向及该方向的差异的同时以高制造效率进行制造的方法。本发明的相位差膜的制造方法包括:用可变间距型左右夹具分别抓持膜的左右端部,该可变间距型左右夹具配置为具有在纵向上可变化的夹具间距;对膜进行预热;将膜斜向拉伸;以及将抓持膜的夹具解除。斜向拉伸包括:在使左右夹具之间的距离扩大的同时,使夹具的行进方向上的一侧上的夹具的夹具间距的变化率与夹具的行进方向上另一侧上的夹具的夹具间距的变化率彼此不同,和/或使行进方向上的一侧上的夹具的夹具间距开始变化的位置与行进方向上的另一侧上的夹具的夹具间距开始变化的位置彼此不同。在本发明中,在即将进行抓持步骤之前和/或在抓持步骤至斜向拉伸步骤的期间内,对夹具的移动速度进行制动。

    溅射装置
    4.
    发明公开
    溅射装置 审中-公开

    公开(公告)号:CN111826630A

    公开(公告)日:2020-10-27

    申请号:CN202010323404.X

    申请日:2020-04-22

    Abstract: 本发明提供一种溅射装置(1),其具有成膜辊(27)和多个成膜室(51、61、65、71、75)。多个成膜室(51、61、65、71、75)均具有靶单元(55)和划分出成膜室的壁部(52、62、66、72、76)。在壁部(52、62、66、72、76)设有排气口(15)。在第1剖视图中,在经过成膜辊中心(C1)和排气口中心(C2)的第1假想线(L1)上配置有靶单元(55)。

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