异物去除装置
    2.
    发明公开
    异物去除装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN113474095A

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN201980092630.7

    申请日:2019-12-09

    Abstract: 本发明提供能够高效地去除附着于工件的异物的异物去除装置(100)。本发明的异物去除装置(100)去除附着于工件(W)的外周面的异物,该工件(W)是对层叠多层带粘合剂层的膜构成的层叠体的外周面进行切削而得到的,该异物去除装置(100)具备保持单元(10)和异物去除单元(20),该保持单元(10)以使外周面露出的方式保持该工件(W),该异物去除单元(20)具有送出辊(21)、卷取辊(22)及抵接辊(23),该送出辊(21)将粘合带(30)送出,该卷取辊(22)卷取由该送出辊(21)送出的该粘合带(30),该抵接辊(23)配置于该送出辊(21)与该卷取辊(22)之间,并且以可将该粘合带(30)按压于该工件(W)上的方式构成。

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