表面保护片材及处理方法
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117083356A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202280024088.3

    申请日:2022-01-28

    Abstract: 本发明提供一种表面保护片材,其即使在包括以贴附于保护对象物的状态在液体中对该保护对象物进行处理的工序的工艺中使用的情况下,也不易在该工艺中的振动等外力的作用下产生从端部的剥落,并且在剥离时能实现保护对象物不发生破损或变形的剥离。所提供的表面保护片材在25℃时的弯曲刚度值在1.0×10‑6~1.0×10‑2Pa·m3的范围内。另外,上述表面保护片材的水剥离力FW0为1.0N/20mm以下。

    加热接合用片及带有切割带的加热接合用片

    公开(公告)号:CN109819657A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201780058040.3

    申请日:2017-07-19

    Abstract: 提供可抑制组成变化、稳定得到具有期望的特性的烧结层的加热接合片、及具有该加热接合用片的带有切割带的加热接合用片。加热接合用片具有通过加热而成为烧结层的前体层,将前述加热接合用片在温度23±2℃、湿度50±20%的气氛中暴露前在氮气气氛中、以升温速度10℃/分钟从23℃至400℃利用差动型差热天平进行分析时的重量减少率ΔW0(%)与、将前述加热接合用片在温度23±2℃、湿度50±20%的气氛中暴露24小时后在氮气气氛中、以升温速度10℃/分钟从23℃至400℃利用差动型差热天平进行分析时的重量减少率ΔW24(%)满足下述式(3)的关系。-1%≤ΔW0-ΔW24≤0.5%(3)。

    粘合片
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104231962A

    公开(公告)日:2014-12-24

    申请号:CN201410281410.8

    申请日:2014-06-20

    Abstract: 本发明提供一种在贴合于具有凹凸的被加工部件(例如半导体晶圆)时,加工该部件时对该凹凸的追随性优异且保管稳定性和操作性优异的粘合片。其解决方式在于,本发明的粘合片依次具备粘合剂层、中间层以及基材层,该中间层的23℃下的储能模量E’(23)为10MPa~50MPa,该中间层的23℃下的储能模量E’(23)与50℃下的储能模量E’(50)之比(E’(23)/E’(50))为5以下,该中间层的23℃下的储能模量E’(23)与80℃下的储能模量E’(80)之比(E’(23)/E’(80))为90~200。

    半导体晶圆加工用粘合片

    公开(公告)号:CN104178043A

    公开(公告)日:2014-12-03

    申请号:CN201410222706.2

    申请日:2014-05-23

    Abstract: 本发明提供一种半导体晶圆加工用粘合片,其在粘贴于半导体晶圆时、半导体晶圆加工时不会剥离,在加工后能够良好地剥离。本发明的半导体晶圆加工用粘合片对表面粗糙度Ra为0.1nm~1.0nm的半导体晶圆的粘合力在0.10N/20mm以上,对表面粗糙度Ra为13.0nm~16.0nm的半导体晶圆的粘合力在2.00N/20mm以下。

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