公开(公告)号：CN115588899A

公开(公告)日：2023-01-10

申请号：CN202211336257.5

申请日：2022-10-28

申请人： 无锡学院

发明人： 黄瑞 ,  王青 ,  赵东 ,  于庆南 ,  张黎可 ,  李晓东 ,  胡长雨 ,  曹燚 ,  任乐 ,  李睿

IPC分类号： H01S5/40 ,  H01S5/30 ,  H01S5/20 ,  H01S5/10 ,  H01S5/06 ,  H01S5/04 ,  H01S5/028 ,  H01S5/026

摘要： 本发明属于光子集成与光波导技术领域，具体涉及一种激光泵浦铌酸锂波导光子集成器件及其制备与应用。本发明制备得到的光子集成器件中的边发射激光器泵浦LNOI光波导激光器中的铌酸锂波导能自发振荡激光输出，在铌酸锂波导两端刻蚀光栅形成谐振腔，能诱导光学波导内的稀土离子实现能级跃迁，输出对应波长的激光，从而达到耦合效率高的优点，且制备工艺简单，适合大规模生产。

公开(公告)号：CN115663592A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202211369341.7

申请日：2022-10-28

申请人： 无锡学院

发明人： 黄瑞 ,  王青 ,  赵东 ,  于庆南 ,  张黎可 ,  李晓东 ,  胡长雨 ,  曹燚 ,  任乐 ,  李睿

IPC分类号： H01S5/12 ,  H01S5/20 ,  C23C16/40 ,  C23C16/56 ,  C30B25/16 ,  C30B29/30 ,  C30B29/40 ,  C30B29/42 ,  C30B31/22 ,  C30B33/02 ,  H01S5/32 ,  H01S5/34 ,  H01S5/343

摘要： 本发明公开了一种激光泵浦铌酸锂光波导多波长混合集成光子器件，包括DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列和砷化镓衬底，DFB激光器阵列、绝缘体上铌酸锂光波导阵列分别置于砷化镓衬底上，利用晶圆键合技术将DFB激光器键合到砷化镓衬底上，确保DFB激光器的输出光高度与铌酸锂光波导匹配；每个铌酸锂光波导都有一个DFB激光器进行泵浦。本发明通过晶圆键合和离子注入技术实现在砷化镓衬底上集成多个DFB激光器和多个铌酸锂光波导，该光子器件通过稀土离子的能级跃迁输出不同波段的激光，实现多种波长的混合输出和多模动态的防伪效果。同时，该光子器件结构紧凑，集成度高，能够实现高效的光子器件集成。