公开(公告)号：CN116264659A

公开(公告)日：2023-06-16

申请号：CN202111536878.3

申请日：2021-12-15

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 胡永刚 ,  冷华星 ,  周伍清 ,  蔡华洁

IPC: H04R19/04 ,  H04R19/00 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS结构及其制造方法，所述MEMS结构的制造方法包括：获取基底；在所述基底上形成具有多条空心隧道的牺牲层；在所述牺牲层上形成结构层；图案化所述结构层形成所需的结构，包括在各所述空心隧道的正上方分别形成与各空心隧道对应的腐蚀孔；通过各所述腐蚀孔腐蚀所述牺牲层，形成空腔。本发明通过在牺牲层中设置多条空心隧道，使得牺牲层腐蚀时腐蚀剂能够进入隧道从而加快腐蚀速率。并且由于腐蚀剂在任意位置进入隧道后就能在隧道的整个长度方向上扩散开，因此只设置少量的腐蚀孔就能够将预定腐蚀区域的牺牲层腐蚀完全，避免因设置密集的腐蚀孔而影响结构层的强度。

公开(公告)号：CN116055969A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202111265224.1

申请日：2021-10-28

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 冷华星 ,  冯栋

IPC: H04R19/04

Abstract: 本发明提供的MEMS电容器件及其制作方法中，基底的上表面依次形成有第一隔离层、第一极板层、第二隔离层和第二极板层，基底中具有第一通孔，第一隔离层中具有位于第一通孔正上方且径向尺寸大于第一通孔的第二通孔，第二通孔暴露出第一通孔的侧壁与基底的上表面连接形成的尖角，第一极板层悬空设置在第二通孔上，第二隔离层暴露出第一极板层的中间区域以在第二极板层和第一极板层之间形成空腔，该空腔内设置有至少一个连接第一极板层和第二极板层的连柱，连柱与尖角的横向距离在设定范围内。如此，第一极板层在向下振动时，连柱向第一极板层的提供向上的拉力，可以在不影响MEMS电容器件性能的前提下减小第一极板层触碰到上述尖角的概率。

公开(公告)号：CN114697841A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202011630953.8

申请日：2020-12-30

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 胡永刚 ,  冷华星 ,  冯栋

IPC: H04R19/04 ,  H04R7/06

Abstract: 本发明涉及一种MEMS麦克风及其振膜结构，所述振膜结构包括：第一振膜，为导电材质，所述第一振膜的边缘用于与MEMS麦克风的支撑层连接；第二振膜，为导电材质，宽度小于所述第一振膜的宽度从而不与所述MEMS麦克风的支撑层接触；以及连接件，为导电材质，第一端连接所述第一振膜，第二端连接所述第二振膜；在所述第一振膜和第二振膜中，所述第二振膜用于朝向所述MEMS麦克风的背板设置。本发明当MEMS麦克风工作中的声压作用在振膜结构上时，第一振膜发生振动，并通过连接件带动第二振膜振动，第二振膜无论中间还是边缘区域与背板之间的距离都是相同的，所以振动时电容变化更具线性，可以减少麦克风的总谐波失真。

公开(公告)号：CN116137694A

公开(公告)日：2023-05-19

申请号：CN202111354745.4

申请日：2021-11-16

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 冷华星

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及一种MEMS麦克风及其制造方法，所述MEMS麦克风包括：衬底；背板，设于衬底上；多根支撑柱，设于所述衬底上；振膜，设于所述支撑柱上，各所述支撑柱用于支撑所述振膜，所述振膜设有气孔，所述振膜被所述气孔贯穿；其中，所述振膜与所述背板之间未设置各所述支撑柱的空间形成气流通道，所述背板的正下方的衬底不设置空腔，所述背板和振膜形成电容器。本发明的MEMS麦克风结构中，带有声波的气流可以从气孔进入、并从振膜与背板之间的气流通道流出，因此背板正下方的衬底不设置深刻蚀腔，可以节省刻蚀形成深刻蚀腔的成本。且由于背板下的衬底为不设置空腔的实心结构，因此衬底减薄至一个很薄的厚度也不会产生过软和翘曲的问题，能够降低划片成本。