公开(公告)号：CN120048793A

公开(公告)日：2025-05-27

申请号：CN202311601462.4

申请日：2023-11-27

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 冯栋

IPC: H01L21/768 ,  H01L23/48

Abstract: 本发明涉及一种通孔结构及其制造方法、通孔互连结构的制造方法，所述通孔结构的制造方法，包括：在衬底中形成盲孔；将盲孔底部剩余的衬底材料全部氧化；去除所述氧化层，得到通孔结构，所述通孔结构具有贯穿所述衬底的通孔。本发明在衬底中形成盲孔，不使用支撑片进行通孔结构的制造，无需键合及解键合设备，节约了生产成本。通过氧化将盲孔底部剩余厚度的衬底材料全部氧化成氧化层，然后再去除氧化层得到贯穿衬底的通孔，无需对衬底背面进行减薄，避免了减薄造成的硅渣和崩边缺陷，有利于提高器件的良率和可靠性。

公开(公告)号：CN116055969A

公开(公告)日：2023-05-02

申请号：CN202111265224.1

申请日：2021-10-28

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 冷华星 ,  冯栋

IPC: H04R19/04

Abstract: 本发明提供的MEMS电容器件及其制作方法中，基底的上表面依次形成有第一隔离层、第一极板层、第二隔离层和第二极板层，基底中具有第一通孔，第一隔离层中具有位于第一通孔正上方且径向尺寸大于第一通孔的第二通孔，第二通孔暴露出第一通孔的侧壁与基底的上表面连接形成的尖角，第一极板层悬空设置在第二通孔上，第二隔离层暴露出第一极板层的中间区域以在第二极板层和第一极板层之间形成空腔，该空腔内设置有至少一个连接第一极板层和第二极板层的连柱，连柱与尖角的横向距离在设定范围内。如此，第一极板层在向下振动时，连柱向第一极板层的提供向上的拉力，可以在不影响MEMS电容器件性能的前提下减小第一极板层触碰到上述尖角的概率。

公开(公告)号：CN114697841A

公开(公告)日：2022-07-01

申请号：CN202011630953.8

申请日：2020-12-30

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 胡永刚 ,  冷华星 ,  冯栋

IPC: H04R19/04 ,  H04R7/06

Abstract: 本发明涉及一种MEMS麦克风及其振膜结构，所述振膜结构包括：第一振膜，为导电材质，所述第一振膜的边缘用于与MEMS麦克风的支撑层连接；第二振膜，为导电材质，宽度小于所述第一振膜的宽度从而不与所述MEMS麦克风的支撑层接触；以及连接件，为导电材质，第一端连接所述第一振膜，第二端连接所述第二振膜；在所述第一振膜和第二振膜中，所述第二振膜用于朝向所述MEMS麦克风的背板设置。本发明当MEMS麦克风工作中的声压作用在振膜结构上时，第一振膜发生振动，并通过连接件带动第二振膜振动，第二振膜无论中间还是边缘区域与背板之间的距离都是相同的，所以振动时电容变化更具线性，可以减少麦克风的总谐波失真。

公开(公告)号：CN114866936A

公开(公告)日：2022-08-05

申请号：CN202110076653.8

申请日：2021-01-20

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 冯栋

IPC: H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及一种差分电容式MEMS麦克风及其制造方法，所述麦克风包括：第一振膜；第一背板，设于所述第一振膜的上方；第二背板；第二振膜，设于所述第二背板的上方；支撑层，设于所述第一振膜和第一背板之间，以及所述第二背板和第二振膜之间；其中，所述第一振膜和第一背板形成的第一电容用于输出第一电容值信号，所述第二振膜和第二背板形成的第二电容用于输出第二电容值信号，所述第一电容值信号和第二电容值信号构成差分信号。本发明麦克风输出的第一电容值信号和第二电容值信号就会构成差分信号，可以提升高频抗扰度，确保更佳的音频信号处理效果。且制造流程简要，光刻层次较少，与现有成熟技术兼容，更容易大规模的量产，制造难度和成本低。

公开(公告)号：CN116939453A

公开(公告)日：2023-10-24

申请号：CN202210332986.7

申请日：2022-03-31

Applicant: 无锡华润上华科技有限公司

Inventor： 冯栋

IPC: H04R19/00 ,  H04R19/04 ,  H04R31/00

Abstract: 本发明涉及一种差分电容式MEMS麦克风及其制造方法，所述麦克风包括：衬底，包括第二背板；第一支撑层，设于所述衬底上；振膜，设于所述第一支撑层上；第二支撑层，设于所述振膜上；第一背板，设于所述第二支撑层上，所述振膜位于所述第一背板和第二背板之间；其中，所述振膜和第一背板形成的第一电容用于输出第一电容值信号，所述振膜和第二背板形成的第二电容用于输出第二电容值信号，所述第一电容值信号和第二电容值信号构成差分信号。本发明利用衬底的一部分结构作为第二背板，因此第二背板本身不会造成麦克风的厚度增加。并且振膜与第一背板、第二背板形成的电容输出的电容信号构成差分信号，可以提高麦克风的信噪比。