公开(公告)号：CN101420816B

公开(公告)日：2014-05-14

申请号：CN200810108452.6

申请日：2008-05-30

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/00

Abstract: 提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。

公开(公告)号：CN101420816A

公开(公告)日：2009-04-29

申请号：CN200810108452.6

申请日：2008-05-30

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/00

Abstract: 提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。

公开(公告)号：CN101779269A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200980000397.1

申请日：2009-04-02

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  南昌佑

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6719

Abstract: 根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。

公开(公告)号：CN101461051A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780019750.1

申请日：2007-05-01

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任

IPC: H01L21/677

Abstract: 提供一种基板传输设备和使用该设备的基板处理系统，该基板传输设备用于连续地将多个基板装载在处理室内/从处理室卸载多个基板，以减少传输基板所花的时间并提高生产量。基板传输设备安装在传输室内，且在第一和第二处理室与装载锁定室之间传输基板，第一和第二处理室位于传输室的横向侧。该基板传输设备包括：驱动单元，以供给旋转力；主轴，连接至该驱动单元；第一回转板臂，以装载基板至该第一处理室/从该第一处理室卸载基板；和第二回转板臂，以装载基板至该第二处理室/从该第二处理室卸载基板。因为在同时且连续处理多个基板期间，快速地交换处理前的基板和处理后的基板，所以可增加处理速率和总生产量。

公开(公告)号：CN101779269B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200980000397.1

申请日：2009-04-02

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  南昌佑

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6719

Abstract: 根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。

公开(公告)号：CN110400734A

公开(公告)日：2019-11-01

申请号：CN201910192335.0

申请日：2019-03-14

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  文洪权 ,  崔国永 ,  夫景云 ,  金世原

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明的虚拟电阻自动匹配方法包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。

公开(公告)号：CN1870851B

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN200610084863.7

申请日：2006-05-23

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 崔大圭 ,  魏淳任

IPC: H05H1/46 ,  H05H1/30

Abstract: 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。

公开(公告)号：CN1897786A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200510087625.7

申请日：2005-07-27

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任

IPC: H05H1/02 ,  H05H1/24

CPC classification number: H01J37/32935 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32183

Abstract: 提供一种可整体提高多腔的生产能力的多腔等离子体处理系统，具中，多腔等离子体处理系统具有多个处理腔；分别具有感应耦合等离子体生成器，感应耦合等离子体生成器经由第一阻抗匹配器和主电源提供源电连接；第一阻抗匹配器至少具有一个可变电感器；各感应耦合等离子体生成器的点火电极和由可变变压器构成的点火源提供源并联；第一阻抗匹配器的可变电感器和点火电源提供源的可变变压器由控制部控制；多个处理腔分别具有等离子体密度调节器；等离子体密度调节器由控制部控制，调节各个处理腔的等离子体密度。

公开(公告)号：CN110400734B

公开(公告)日：2022-02-01

申请号：CN201910192335.0

申请日：2019-03-14

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  文洪权 ,  崔国永 ,  夫景云 ,  金世原

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明的虚拟电阻自动匹配方法包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。

公开(公告)号：CN1812678B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200610002477.9

申请日：2006-01-26

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  崔相敦

IPC: H05B41/14 ,  H01F29/04 ,  H05B41/38 ,  G02F1/13357

CPC classification number: H05B41/2822

Abstract: 本发明的课题是提供一种多灯驱动系统，可以更有效地并列驱动多个放电灯，可以进一步提高多个放电灯的亮度均匀性，并且提供一种多灯驱动系统，可以根据在无源型显示器上显示的图像的明亮度特性，将多个放电灯的亮度调节成使彼此不同。该多灯驱动系统包括：电源变压器，从交流电源供给源被供给交流电源，并产生正电压(V_p)和负电压(V_n)；和电流均衡分配器，被施加了电源变压器的正电压并分割为多个电压，所分割的电压被分别施加到多个放电灯的第一电极，分配电流量以使输入各个放电灯的电流值相互均衡，电源变压器的负电压被共同施加给多个放电灯的第二电极。