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公开(公告)号：CN101420816B
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN200810108452.6
申请日：2008-05-30
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 魏淳任
Abstract: 提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。
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公开(公告)号：CN101064986B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200710086254.X
申请日：2007-03-09
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
IPC: H05H1/24 , H01L21/3205
Abstract: 本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
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公开(公告)号：CN101420816A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200810108452.6
申请日：2008-05-30
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 魏淳任
Abstract: 提供一种容性耦合等离子体反应器，包括：等离子体反应器；容性耦合电极组件，包括多个容性耦合电极，用于在所述等离子体反应器内诱发等离子体放电；主电源，用于提供射频功率；以及分配电路，用于接收所述主电源提供的所述射频功率，并将接收的所述射频功率分配到所述多个容性耦合电极。所述容性耦合等离子体反应器能够通过多个容性耦合电极均匀地产生大面积等离子体。此外，由于在并行驱动多个容性耦合电极时电流自动地平衡，所以更均匀地产生并维持大面积等离子体。
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公开(公告)号：CN112735935B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202011156931.2
申请日：2020-10-26
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的多重电压控制方法包括如下步骤：(a)开始对等离子负载供应高频电源；(b)执行持续高频电源的输出而提高该输出的电源冲击动作；(c)检测从所述等离子负载向高频电源侧反射的反射波，判断与所述反射波的量相对应的对应反射波损失量是否大于第一设定值；(d)在满足所述步骤(c)的情况下，将供应于所述高频电源的RF功率放大器的直流电压的VDD大小限制在第一极限；(e)在所述步骤(d)之后，判断所述对应反射波损失量是否小于第二设定值，所述第二设定值小于所述第一设定值；及(f)若满足所述步骤(e)，则再次执行所述步骤(b)的电源冲击动作。
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公开(公告)号：CN113539773B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202010742873.5
申请日：2020-07-29
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的具有双重输出的高频发生器，包括：高频放大部，放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；合路器，耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；高频传感器，配置在所述合路器的输出侧，并且检测流动于所述合路器的输出侧的电信号，以输出电检测信号；控制器，利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及切换部，配置在所述合路器和等离子腔室之间，并且被所述切换控制信号控制，进而将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111263505B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201910284172.9
申请日：2019-04-10
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H05H1/46
Abstract: 本发明的逆功率降低方法为用于降低从等离子负载向高频电力放大部反射的逆功率的方法，包括：输出频率倾斜度判断步骤，控制器判断从上述高频电力放大部输出的输出频率倾斜度的符号；逆功率倾斜度判断步骤，上述控制器判断从上述等离子负载向上述高频电力放大部反射的逆功率倾斜度的符号；频率变化量增减决定步骤，上述控制器根据上述输出频率倾斜度的符号与上述逆功率倾斜度的符号的组合来决定频率变化量的增减；更新步骤，上述控制器利用上述频率变化量来更新上述输出频率；以及输出频率变更步骤，若反射系数大于规定反射基准值且上述频率变化量小于规定的变动幅度设定值，则上述控制器为了脱离驼峰而变更上述输出频率。
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公开(公告)号：CN110212762B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201811306714.X
申请日：2018-11-05
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H02M3/158
Abstract: 本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流‑直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流‑直流变换器控制器；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载波频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流‑直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。
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公开(公告)号：CN112735935A
公开(公告)日：2021-04-30
申请号：CN202011156931.2
申请日：2020-10-26
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的多重电压控制方法包括如下步骤：(a)开始对等离子负载供应高频电源；(b)执行持续高频电源的输出而提高该输出的电源冲击动作；(c)检测从所述等离子负载向高频电源侧反射的反射波，判断与所述反射波的量相对应的对应反射波损失量是否大于第一设定值；(d)在满足所述步骤(c)的情况下，将供应于所述高频电源的RF功率放大器的直流电压的VDD大小限制在第一极限；(e)在所述步骤(d)之后，判断所述对应反射波损失量是否小于第二设定值，所述第二设定值小于所述第一设定值；及(f)若满足所述步骤(e)，则再次执行所述步骤(b)的电源冲击动作。
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公开(公告)号：CN110400734A
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201910192335.0
申请日：2019-03-14
Applicant: 新动力等离子体株式会社
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明的虚拟电阻自动匹配方法包括：步骤(a)，按工序种类、工序配方及工序配方的各个工序步骤来确定上述射频发生器的输入参数及上述等离子腔室的负荷条件参数；步骤(b)，以各个工序的上述射频发生器的输入参数为基础来向上述电阻匹配器施加射频开启信号；步骤(c)，判断构成上述电阻匹配器的负荷用真空可变电容器和调谐用真空可变电容器的初始设定位置是否在匹配范围内；步骤(d)，若不满足上述步骤(c)，则向上述电阻匹配器施加射频关闭信号，发生表示匹配范围脱离的警告信号；步骤(e)，若满足上述步骤(c)，则通过使上述电阻匹配器进行工作来开始进行匹配；步骤(f)，若完成匹配，则按成功匹配的工序步骤分析与基于电阻变化的50+j0有关的振幅误差及相位误差来确定上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置；以及步骤(g)，按所有工序步骤进行上述步骤(a)至上述步骤(f)，向上述电阻匹配器发送各个工序步骤的上述负荷用真空可变电容器和上述调谐用真空可变电容器的初始设定位置。
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公开(公告)号：CN1870851B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN200610084863.7
申请日：2006-05-23
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Abstract: 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。
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