公开(公告)号：CN113539773B

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202010742873.5

申请日：2020-07-29

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 金钟云 ,  金仁范 ,  柳承喜

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明的具有双重输出的高频发生器，包括：高频放大部，放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；合路器，耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；高频传感器，配置在所述合路器的输出侧，并且检测流动于所述合路器的输出侧的电信号，以输出电检测信号；控制器，利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及切换部，配置在所述合路器和等离子腔室之间，并且被所述切换控制信号控制，进而将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。

公开(公告)号：CN113539773A

公开(公告)日：2021-10-22

申请号：CN202010742873.5

申请日：2020-07-29

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 金钟云 ,  金仁范 ,  柳承喜

IPC: H01J37/32

Abstract: 本发明的具有双重输出的高频发生器，包括：高频放大部，放大预定电平的直流电压，以输出第一及第二高频放大信号；合路器，耦合所述第一高频放大信号和所述第二高频放大信号，以输出高频功率信号；高频传感器，配置在所述合路器的输出侧，并且检测流动于所述合路器的输出侧的电信号，以输出电检测信号；控制器，利用在外部施加的控制信号和所述电检测信号输出切换控制信号；及切换部，配置在所述合路器和等离子腔室之间，并且被所述切换控制信号控制，进而将所述高频功率信号提供于第一输出端子和第二输出端子。