-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101064986A
公开(公告)日：2007-10-31
申请号：CN200710086254.X
申请日：2007-03-09
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
IPC: H05H1/24 , H01L21/3205
Abstract: 本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
-
公开(公告)号：CN101064986B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200710086254.X
申请日：2007-03-09
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
IPC: H05H1/24 , H01L21/3205
Abstract: 本发明的目的在于提供一种结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率高，可以稳定地维持等离子体，可以稳定地得到高密度的等离子体。本发明的电感耦合等离子体反应器结合有变压器，变压器具有用于向反应器主体的等离子体放电室传递等离子体放电的电动势的多重磁芯、和初级线圈。位于等离子体放电室内部的磁芯部分，由芯保护管整体覆盖而受保护。初级线圈与提供射频功率的电源供给源电连接。在电感耦合等离子体反应器中，多个磁芯横截部分位于等离子体放电室的内部，与等离子体耦合的电感耦合能量的传递效率很高。
-
公开(公告)号：CN1870851A
公开(公告)日：2006-11-29
申请号：CN200610084863.7
申请日：2006-05-23
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Abstract: 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。
-
公开(公告)号：CN101080133A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710105100.0
申请日：2007-05-22
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Inventor： 崔大圭
Abstract: 本发明的感应耦合等离子体反应器包括：具有搭载被处理基板的基板支撑台的真空腔；向真空腔内部供给气体的气体喷头；设于真空腔上部的介电窗；及设于介电窗上部的射频天线。气体喷头及基板支撑台与真空腔内部的等离子体电容耦合，射频天线与真空腔内部的等离子体感应耦合。等离子体反应器通过电容且感应的耦合在真空腔内部产生等离子体，由此更均匀地产生大面积的等离子体，同时容易进行等离子体离子能量的正确调节，从而可以提高成品率和生产能力。等离子体反应器包括磁芯，该磁芯的磁束出入口朝向真空腔内部，并且该磁芯以沿着射频天线将其覆盖的方式设于介电窗上部。射频天线由磁芯覆盖，可集中更强的磁束，最大限度抑制磁束的损失。
-
公开(公告)号：CN1870851B
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN200610084863.7
申请日：2006-05-23
Applicant: 新动力等离子体株式会社
Abstract: 等离子源具有多个放电感应电桥，该放电感应电桥上耦合了缠绕有变压器的初级线圈的磁芯。放电感应电桥和接受器相对配置。放电感应电桥由中空管构成，当变压器的初级线圈的电流被驱动时，在磁芯中感应到磁束，从而以放电感应电桥为中心形成感应耦合等离子体。通过多个放电感应电桥，等离子放电并列且平均地被感应，可获得高密度、平均且大面积的等离子体。
-
-
-
-
Search Results
5
records
(took 0.025 seconds)
