公开(公告)号：CN110212762B

公开(公告)日：2021-05-28

申请号：CN201811306714.X

申请日：2018-11-05

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 金钟云 ,  全恩民 ,  金英哲 ,  金民材

IPC: H02M3/158

Abstract: 本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流‑直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流‑直流变换器控制器；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载波频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流‑直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。

公开(公告)号：CN110212762A

公开(公告)日：2019-09-06

申请号：CN201811306714.X

申请日：2018-11-05

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 金钟云 ,  全恩民 ,  金英哲 ,  金民材

IPC: H02M3/158

Abstract: 本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流-直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流-直流变换器控制器；上述直流-直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载流子频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流-直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。