公开(公告)号：CN101779269A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200980000397.1

申请日：2009-04-02

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  南昌佑

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6719

Abstract: 根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。

公开(公告)号：CN101779269B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200980000397.1

申请日：2009-04-02

Applicant: 新动力等离子体株式会社

Inventor： 魏淳任 ,  南昌佑

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01L21/6719

Abstract: 根据本发明的多工件处理室包括：室外壳，在该室外壳中形成有至少两个内部处理空间；至少一个分隔构件，该至少一个分隔构件设置在该室外壳中并将该室外壳隔成至少两个内部处理空间；以及各个内部处理空间，该各个内部处理空间与该分隔构件联接并具有对称形状，以均匀地产生处理反应。根据本发明的多工件处理室具有内部处理空间，所述内部处理空间通过与分隔构件联接而具有对称形状。因而，在整个内部处理区域上均匀地发生处理反应并且可提高工件处理过程的再现性和均匀性。