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公开(公告)号：CN102791425B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201180000181.2
申请日：2011-03-08
Applicant: 新东工业株式会社
CPC classification number: B24B29/005 , B24B7/22 , B24B49/00 , B24B51/00
Abstract: 提供硅块的磨削/研磨加工装置及其加工方法，具有能将利用线锯将硅锭切断形成的四棱柱状硅块的截面尺寸加工到±0.5mm、将其角部的直角度加工到±0.1度的公差范围内的磨削功能，具备能除去切断形成的硅块(W)表层的微裂纹的研磨功能。该磨削/研磨加工装置具备：把持硅块(W)的把持构件(1)；测量上述硅块(W)的截面尺寸的测量构件(2)；磨削上述硅块(W)的平面部(F)和角部(C)的磨削构件(3)；研磨结束上述磨削加工后的硅块(W)的平面部(F)和角部(C)而除去微裂纹的研磨构件(4)；在测量构件(2)、磨削构件(3)、研磨构件(4)所配置的位置间移送把持硅块(W)的上述把持构件(1)的移送构件(5)；以及使上述各构件动作的控制构件(6)。
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公开(公告)号：CN113319728A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110196326.6
申请日：2021-02-22
Applicant: 新东工业株式会社
Abstract: 一个方式的滚筒研磨装置具备滚筒槽及倾动机构。滚筒槽包括具有中心轴线的筒状的固定槽与设置为覆盖固定槽的底部且能够绕中心轴线旋转的旋转盘。倾动机构具有沿水平方向延伸的倾动轴，且使滚筒槽绕倾动轴倾动。从与倾动轴的延伸方向平行的方向观察，倾动轴配置为比与倾动轴平行地延伸且通过滚筒槽的重心的重心线接近固定槽的上缘部。
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公开(公告)号：CN105263674A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031792.7
申请日：2014-06-19
Applicant: 新东工业株式会社
IPC: B24B31/067 , B24B31/12
CPC classification number: B24B31/064 , B24B31/073 , B24B31/12
Abstract: 本发明提供振动滚磨用的工件保持夹具以及振动滚磨方法。在通过振动滚磨装置研磨工件时，保护工件抑制缺陷产生。工件保持夹具(1)是在使用研磨介质通过振动滚磨装置研磨扁平形状的工件(W)时用于保持工件(W)的振动滚磨用的夹具。工件保持夹具(1)具备：保护部件(10、11)，其外形形状呈比工件(W)大的圆盘状，并且配置成相互对置；以及保持部件(12)，其以工件(W)整体位于圆柱状的收容空间(V)内的方式在收容空间(V)内保持工件(W)。在保护部件(10、11)分别形成有与收容空间(V)连通的窗部(10w、11w)。研磨介质能够通过以连接保护部件(10、11)的周缘彼此的方式延伸的环状的虚拟曲面(S)以及窗部(10w、11w)，在收容空间(V)的内外通过。
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公开(公告)号：CN102069446A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN201010273884.X
申请日：2010-09-02
Applicant: 新东工业株式会社
IPC: B24B37/02
CPC classification number: B24B9/065
Abstract: 本发明提供多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法，该廉价的研磨装置具有除去由硬脆材料构成的多棱柱状部件表层部存在的微小裂纹的高研磨能力和除去表面凹凸而使表面粗糙度细微化的精细研磨能力，该研磨装置具有将被研磨加工物载置成要研磨的加工面呈水平向上状态的基台；夹持该被研磨加工物的两端面的夹紧机构；夹持研磨加工物进行研磨、在研磨结束后解除夹持状态、通过手动反转或通过旋转机构自动反转被研磨加工物而使下一个加工面呈水平向上状态、对设有前端与加工面旋转接触而进行研磨加工的研磨具的研磨机构进行移送的研磨单元；检测被研磨加工物的加工面的高度位置、自动设定研磨机构的研磨具对于加工面的切入量的高度位置检测装置。
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公开(公告)号：CN105980104B
公开(公告)日：2019-06-14
申请号：CN201580006322.X
申请日：2015-07-29
Applicant: 新东工业株式会社
IPC: B24B29/00
CPC classification number: B24B29/00
Abstract: 本发明提供刷研磨装置以及刷研磨方法，该刷研磨装置具备刷单元，刷单元是在相对于被加工物面水平旋转的类型的研磨刷中具备能够自动调整刷毛从研磨刷的底面的突出长度的机构。刷单元具备：刷毛的末端在底面露出的研磨刷、使上述研磨刷相对于被加工面水平旋转的机构、以及将该研磨刷的刷毛的末端从底面突出的长度自动调整为预先设定的长度的机构。通过使刷毛朝向调整面即平面前进并检测刷毛抵接于调整面时的负荷的变化来调整突出长度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104968471B
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：CN201480007048.3
申请日：2014-01-20
Applicant: 新东工业株式会社
IPC: B24B29/00
CPC classification number: B24B29/005 , B24B9/00 , B24B9/002 , B24B27/0023 , B24B27/0069 , B24B27/0076 , B24B41/005 , B24B41/047 , B24B47/12 , B24D13/145
Abstract: 本发明的目的是提供刷子研磨装置，通过研磨刷子自转以及回旋移动的行星运动来研磨工件的被加工面，能够根据工件的性状以及加工目的容易设定研磨条件。研磨刷子具备自转以及公转的刷子单元。刷子单元分别具备用于进行研磨刷子的自转的自转驱动机构、和用于进行研磨刷子的公转的公转驱动机构。利用自转驱动机构调整自转速度从而能够提高研磨能力，利用公转驱动机构调整公转速度，从而能够均匀地研磨工件整体。
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公开(公告)号：CN103561908A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201180071168.6
申请日：2011-11-10
Applicant: 新东工业株式会社
IPC: B24B49/04 , B24B9/06 , B24B29/00 , H01L21/304
CPC classification number: B24B29/005 , B24B9/065
Abstract: 本发明提供硬脆性材料的磨削、研磨加工系统以及磨削、研磨方法，具有将由硬脆性材料构成的被加工物的截面尺寸形成为公差范围内的磨削功能和除去磨削加工后的被加工物的表层的微裂纹并细化表面粗糙度的研磨功能。磨削、研磨加工系统具有：对由硬脆性材料构成的被加工物(W)的表层部进行磨削而除去该被加工物的表层部的杂质与柱轴方向的变形并将截面尺寸形成为所希望的尺寸磨削装置(1)、对结束磨削加工后的被加工物的表层部的凹凸进行研磨，除去该被加工物的表层部的微裂纹并细化表面粗糙度的研磨装置(2)、以及以初始设定项目和磨削装置以及研磨装置的测量信号为基础进行运算处理并向磨削装置以及研磨装置输出工作信号的控制单元。
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公开(公告)号：CN102652049A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201080044589.5
申请日：2010-12-09
Applicant: 新东工业株式会社
CPC classification number: B24B29/005 , B24B5/045 , B24B5/50 , B24B29/04
Abstract: 本发明提供研磨装置及其研磨方法。将由硬脆材料构成的被加工物加工为规定直径的圆柱形状，并且除去存在于该被加工物的表层部的微小的裂缝，且除去表面的凹凸而使表面粗糙度微细化。研磨装置具备：与被加工物的旋转机构连结且夹持上述被加工物的两端面的夹持机构；前端与上述被加工物的外周面接触并旋转来进行研磨加工的研磨机构；使上述被加工物相对于上述研磨机构沿上述被加工物的圆柱状的轴心方向相对移动的移动机构；检测研磨加工完成品以及研磨加工前的被加工物的高度位置的高度位置检测机构；以及对所输入的上述高度位置以及加工条件进行运算来进行研磨加工的控制机构，上述研磨机构至少具备一个以上的磨石和一个以上的具备含有磨粒的毛材或者弹性体的研磨刷，上述磨石与上述研磨刷沿着圆柱状的被加工物的轴心而连续设置。
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公开(公告)号：CN102164710A
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：CN201080001511.5
申请日：2010-07-12
Applicant: 新东工业株式会社
CPC classification number: B24B9/065
Abstract: 本发明提供多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法，该廉价的研磨装置具有除去由硬脆材料构成的多棱柱状部件表层部存在的微小裂纹的高研磨能力和除去表面凹凸而使表面粗糙度细微化的精细研磨能力，该研磨装置具有将被研磨加工物(W)载置成要研磨的加工面(P)呈水平向上状态的基台(4)；夹持该被研磨加工物的两端面的夹紧机构(5)；夹持上述研磨加工物进行研磨、在研磨结束后解除该夹持状态、通过手动反转或通过旋转机构(14A)、(14B)自动反转该被研磨加工物而使下一个加工面呈水平向上状态、对设有前端与该加工面旋转接触而进行研磨加工的研磨具(10)的研磨机构(2)进行移送的研磨单元(1)；检测上述被研磨加工物的加工面的高度位置、自动设定上述研磨机构的研磨具对于加工面的切入量的高度位置检测装置(3)。
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公开(公告)号：CN109070306A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780020198.1
申请日：2017-03-24
Applicant: 新东工业株式会社
Abstract: 在一实施方式中，提供一种使用振动滚磨系统的振动滚磨方法，该振动滚磨系统具备：在其内部具有底面的研磨槽；以及能够对工件进行保持并能够以旋转轴线为中心旋转的研磨用治具。该方法包含：在研磨用治具的最下部从底面分离的状态下在研磨槽内支承研磨用治具且研磨用治具的最下部与底面的分离距离d为研磨介质的粒径以上的工序；使研磨介质在研磨槽内流动的工序；以及在研磨用治具的最下部从底面分离的状态下使研磨用治具以旋转轴线为中心旋转的工序。
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