公开(公告)号：CN102164710B

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN201080001511.5

申请日：2010-07-12

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 平贺干敏 ,  棚桥茂 ,  羽鸟左一郎 ,  松本尚

IPC: B24B29/00 ,  B24B9/00 ,  B24B29/06 ,  B24B41/06 ,  B24B47/22 ,  B24B49/10 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B9/065

Abstract: 本发明提供多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法，该廉价的研磨装置具有除去由硬脆材料构成的多棱柱状部件表层部存在的微小裂纹的高研磨能力和除去表面凹凸而使表面粗糙度细微化的精细研磨能力，该研磨装置具有将被研磨加工物(W)载置成要研磨的加工面(P)呈水平向上状态的基台(4)；夹持该被研磨加工物的两端面的夹紧机构(5)；夹持上述研磨加工物进行研磨、在研磨结束后解除该夹持状态、通过手动反转或通过旋转机构(14A)、(14B)自动反转该被研磨加工物而使下一个加工面呈水平向上状态、对设有前端与该加工面旋转接触而进行研磨加工的研磨具(10)的研磨机构(2)进行移送的研磨单元(1)；检测上述被研磨加工物的加工面的高度位置、自动设定上述研磨机构的研磨具对于加工面的切入量的高度位置检测装置(3)。

公开(公告)号：CN102069446A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN201010273884.X

申请日：2010-09-02

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 平贺干敏 ,  棚桥茂 ,  羽鸟左一郎 ,  松本尚

IPC: B24B37/02

CPC classification number: B24B9/065

Abstract: 本发明提供多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法，该廉价的研磨装置具有除去由硬脆材料构成的多棱柱状部件表层部存在的微小裂纹的高研磨能力和除去表面凹凸而使表面粗糙度细微化的精细研磨能力，该研磨装置具有将被研磨加工物载置成要研磨的加工面呈水平向上状态的基台；夹持该被研磨加工物的两端面的夹紧机构；夹持研磨加工物进行研磨、在研磨结束后解除夹持状态、通过手动反转或通过旋转机构自动反转被研磨加工物而使下一个加工面呈水平向上状态、对设有前端与加工面旋转接触而进行研磨加工的研磨具的研磨机构进行移送的研磨单元；检测被研磨加工物的加工面的高度位置、自动设定研磨机构的研磨具对于加工面的切入量的高度位置检测装置。

公开(公告)号：CN102164710A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN201080001511.5

申请日：2010-07-12

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 平贺干敏 ,  棚桥茂 ,  羽鸟左一郎 ,  松本尚

IPC: B24B29/00 ,  B24B9/00 ,  B24B29/06 ,  B24B41/06 ,  B24B47/22 ,  B24B49/10 ,  H01L21/304

CPC classification number: B24B9/065

Abstract: 本发明提供多棱柱状部件的研磨装置及其研磨方法，该廉价的研磨装置具有除去由硬脆材料构成的多棱柱状部件表层部存在的微小裂纹的高研磨能力和除去表面凹凸而使表面粗糙度细微化的精细研磨能力，该研磨装置具有将被研磨加工物(W)载置成要研磨的加工面(P)呈水平向上状态的基台(4)；夹持该被研磨加工物的两端面的夹紧机构(5)；夹持上述研磨加工物进行研磨、在研磨结束后解除该夹持状态、通过手动反转或通过旋转机构(14A)、(14B)自动反转该被研磨加工物而使下一个加工面呈水平向上状态、对设有前端与该加工面旋转接触而进行研磨加工的研磨具(10)的研磨机构(2)进行移送的研磨单元(1)；检测上述被研磨加工物的加工面的高度位置、自动设定上述研磨机构的研磨具对于加工面的切入量的高度位置检测装置(3)。

公开(公告)号：CN102015210A

公开(公告)日：2011-04-13

申请号：CN200980113898.0

申请日：2009-04-10

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 平贺干敏 ,  角田亮一 ,  稻垣健一郎 ,  前田和良

IPC: B24C9/00 ,  B24C3/12

CPC classification number: B24C9/00 ,  B65G39/06

Abstract: 本发明实现了能够避免被加工物被附着于输送辊的喷射材料损伤的输送装置及具备该输送装置的喷丸加工装置。在输送装置30中，输送辊31的辊部件33所具备的抵接部件33a，由比作为被加工物的面板P还软质的弹性材料构成，在抵接部件33a与面板P之间夹入了喷射材料的情况下，抵接部件33a作为减小由喷射材料施加于面板P的力的缓冲件发挥作用。因此即便是容易损伤的材料形成的面板P也能不被喷射材料损伤地进行输送。

公开(公告)号：CN102015210B

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN200980113898.0

申请日：2009-04-10

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 平贺干敏 ,  角田亮一 ,  稻垣健一郎 ,  前田和良

IPC: B24C9/00

CPC classification number: B24C9/00 ,  B65G39/06

Abstract: 本发明实现了能够避免被加工物被附着于输送辊的喷射材料损伤的输送装置及具备该输送装置的喷丸加工装置。在输送装置30中，输送辊31的辊部件33所具备的抵接部件33a，由比作为被加工物的面板P还软质的弹性材料构成，在抵接部件33a与面板P之间夹入了喷射材料的情况下，抵接部件33a作为减小由喷射材料施加于面板P的力的缓冲件发挥作用。因此即便是容易损伤的材料形成的面板P也能不被喷射材料损伤地进行输送。

公开(公告)号：CN102083589A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：CN200980109521.8

申请日：2009-04-10

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 平贺干敏 ,  角田亮一 ,  稻垣健一郎 ,  前田和良 ,  铃木幸德 ,  涩谷纪仁

IPC: B24C5/04 ,  B24C3/12 ,  B24C3/22

CPC classification number: B24C3/04 ,  B24C1/08 ,  B24C3/12 ,  B24C5/02 ,  B24C5/04

Abstract: 实现能够使高精度的微细加工和高加工效率并存的喷嘴、由多个喷嘴构成的喷嘴单元及具备这些的喷射加工装置。由于在喷嘴(11)的喷射部(13)的前端形成有避让部(13c)，所以即使为了抑制喷射材料的扩散而使喷嘴(11)接近加工面，也不会有从加工面反射的喷射材料滞留在与喷射部(13)的前端之间的情况，能进行精度高的加工。根据喷嘴单元(10)、喷射加工装置(20)，通过转动装置(16)将喷嘴(11m)和喷嘴(11n)设为与喷射加工的加工宽度对应的配置，从而能以一次扫描进行较宽区域的喷射加工，能提高加工效率。