公开(公告)号：CN103252703A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201210587508.7

申请日：2012-12-28

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 黑木哲也 ,  德升智宏 ,  西岛仁

IPC: B24B31/10 ,  B24B31/12

Abstract: 本发明提供一种湿式流动滚磨装置。配置于研磨槽的底壁部的排水口不会在滚磨中被磨粒、滚磨产生的切削粉这样的粒子封闭。该湿式流动滚磨装置配设有封闭机构，其将所述排水口堵塞，并且具有用于按压于该排水口而封闭该排水口的封闭部件。由于在滚磨时能够直接封闭排水口，因此不会在排水路径堆积所述粒子，从而该排水口不会被封闭。另外，利用压缩空气等将所述封闭部件按压于所述排水口而封闭所述排水口，由此不会像机械式的阀那样因所述粒子啮入到可动部而出现故障。

公开(公告)号：CN105980104A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201580006322.X

申请日：2015-07-29

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 西岛仁 ,  棚桥茂

IPC: B24B29/00

CPC classification number: B24B29/00

Abstract: 本发明提供刷研磨装置以及刷研磨方法，该刷研磨装置具备刷单元，刷单元是在相对于被加工物面水平旋转的类型的研磨刷中具备能够自动调整刷毛从研磨刷的底面的突出长度的机构。刷单元具备：刷毛的末端在底面露出的研磨刷、使上述研磨刷相对于被加工面水平旋转的机构、以及将该研磨刷的刷毛的末端从底面突出的长度自动调整为预先设定的长度的机构。通过使刷毛朝向调整面即平面前进并检测刷毛抵接于调整面时的负荷的变化来调整突出长度。

公开(公告)号：CN109564874A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201780048562.5

申请日：2017-08-02

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 西岛仁 ,  澁谷纪仁

IPC: H01L21/31 ,  B24C1/08 ,  B24C11/00 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明提供一种减少夹具的损伤并效率良好地除去在利用结晶生长进行的成膜工艺中附着于夹具的硬质的附着物的附着物除去方法。该附着物除去方法包括以下的工序：准备与所述夹具相比硬度较低的喷射材料；朝向所述夹具喷射所述喷射材料；以及在所述喷射材料冲撞于所述夹具时在所述附着物的晶界形成破坏的起点，使所述喷射材料进一步冲撞而使所述附着物在晶界脱离。

公开(公告)号：CN116408733A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202211257457.1

申请日：2022-10-14

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 神田真治 ,  纳康 ,  西岛仁

IPC: B24C7/00 ,  B24C5/04

Abstract: 本发明提供浆料雾沫喷嘴、湿式喷砂装置及湿式喷砂装置的控制方法。浆料雾沫喷嘴(20)包括：壳体(21)，其形成有高压空气供给口(26)和浆料雾沫喷射口(28)；以及浆料供给导管(35)，其被引入到壳体(21)的内部，在其侧面或端面形成有浆料供给口(37)，浆料雾沫喷射口(28)的开口面积小于高压空气供给口(26)的开口面积。

公开(公告)号：CN105980104B

公开(公告)日：2019-06-14

申请号：CN201580006322.X

申请日：2015-07-29

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 西岛仁 ,  棚桥茂

IPC: B24B29/00

CPC classification number: B24B29/00

Abstract: 本发明提供刷研磨装置以及刷研磨方法，该刷研磨装置具备刷单元，刷单元是在相对于被加工物面水平旋转的类型的研磨刷中具备能够自动调整刷毛从研磨刷的底面的突出长度的机构。刷单元具备：刷毛的末端在底面露出的研磨刷、使上述研磨刷相对于被加工面水平旋转的机构、以及将该研磨刷的刷毛的末端从底面突出的长度自动调整为预先设定的长度的机构。通过使刷毛朝向调整面即平面前进并检测刷毛抵接于调整面时的负荷的变化来调整突出长度。