公开(公告)号：CN109564874A

公开(公告)日：2019-04-02

申请号：CN201780048562.5

申请日：2017-08-02

Applicant: 新东工业株式会社

Inventor： 西岛仁 ,  澁谷纪仁

IPC: H01L21/31 ,  B24C1/08 ,  B24C11/00 ,  C23C16/44

Abstract: 本发明提供一种减少夹具的损伤并效率良好地除去在利用结晶生长进行的成膜工艺中附着于夹具的硬质的附着物的附着物除去方法。该附着物除去方法包括以下的工序：准备与所述夹具相比硬度较低的喷射材料；朝向所述夹具喷射所述喷射材料；以及在所述喷射材料冲撞于所述夹具时在所述附着物的晶界形成破坏的起点，使所述喷射材料进一步冲撞而使所述附着物在晶界脱离。

公开(公告)号：CN302372983S

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201230540865.9

申请日：2012-11-08

Applicant: 新东工业株式会社

Designer： 前田和良 ,  澁谷纪仁

Abstract: 本外观设计产品是喷砂机。其用途为：对板状的被加工物进行喷砂加工的装置。本外观设计的设计要点在于形状的设计。立体参考图1是最能表明设计要点的图片。