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公开(公告)号：CN112853316B
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202011627010.X
申请日：2020-12-31
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/52 , C23C16/44
Abstract: 本发明揭露一种镀膜装置，包含：一第一外壳，具有一顶部和一侧部；及一第二外壳，容置于该第一外壳中且至少部分自该第一外壳的顶部朝下扩散延伸，该第一外壳与该第二外壳之间定义一第一空间，该第二外壳定义一第二空间，该第一空间围绕该第二空间且两者不连通。
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公开(公告)号：CN111211082B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN201811396522.2
申请日：2018-11-22
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: H01L21/687 , H01L21/677
Abstract: 本发明提供了一种晶圆传输装置，包含负载腔模块、设备前端模块和转换腔模块，具体的，负载腔模块具有第一侧与第二侧，在第一侧与第二侧之间连通形成至少一负载腔室，该负载腔室内设有至少一对晶圆支架，每一晶圆支架包含一主体，该主体平行延伸一对支撑臂，且每一支撑臂上设有一支撑球和一置中限位块。设备前端模块衔接配置于负载腔模块的第一侧。转换腔模块衔接配置于负载腔模块的第二侧。
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公开(公告)号：CN112827678B
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202011628453.0
申请日：2020-12-31
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
Inventor： 刘春
Abstract: 本发明公开了一种喷淋头用加热环，由供电端子为加热丝进行供电加热，并通过导热环进行热传导，实现其加热的目的。在导热环的两侧以及上方均设置阻热环，并且导热环与多个阻热环之间围成腔体，通过腔体以及阻热环的阻隔，可有效降低导热环向两侧以及上方的热传递，进而避免对喷淋头中冷却环的影响，加快喷淋头的冷却速度，由于热传递减小，其加热效率可获得显著的提升；该喷淋头用加热环，具有结构简单、设计合理、加热效率高、向冷端热传递量小等优点。
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公开(公告)号：CN114695215A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011642969.0
申请日：2020-12-31
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本申请涉及一种机械手手指、机械手及其使用方法。在本申请的一实施例中，所述机械手手指包括：手指；及一或多个测温元件，其设置在所述手指内，并分别连接到所述手指的表面上的一或多个测温触点。所述机械手手指可用于在晶圆的传输过程中实时监测晶圆的温度。
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公开(公告)号：CN113136568B
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：CN202110373007.8
申请日：2021-04-07
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/52 , C23C16/50
Abstract: 本发明公开了一种节能型主动控温喷淋头，包括：喷淋头本体、加热系统、冷却系统和测温系统，其中，所述加热系统固定于所述喷淋头本体上，用于为所述喷淋头本体加热，所述冷却系统包括冷却板，用于对所述喷淋头本体制冷，所述测温系统用于检测所述喷淋头本体的温度，所述冷却板可接近或远离所述喷淋头本体，进而改变其与所述喷淋头本体之间的热阻。该节能型主动控温喷淋头，结构合理，制冷效果好，可有效降低加热系统的加热功率，减少加热功率的浪费，设计、制造、运行成本更低，而且更安全。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113249687B
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202110403470.2
申请日：2021-04-14
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: C23C14/22 , C23C16/455
Abstract: 本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。
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公开(公告)号：CN113249687A
公开(公告)日：2021-08-13
申请号：CN202110403470.2
申请日：2021-04-14
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: C23C14/22 , C23C16/455
Abstract: 本发明属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。
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公开(公告)号：CN114188249A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202111523568.8
申请日：2021-12-14
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本申请提供一种装载设备，包括腔室本体，所述腔室本体的腔室内设有用于加热晶圆的加热盘，所述腔室本体的壁内设有冷却通道；所述冷却通道用于连接恒温系统。本方案中冷却管道可以与外部的恒温系统连接，恒温系统设有热交换器，可以提供具有恒定温度的介质，介质流入冷却通道，继而在腔室本体的壁内流动，以使腔室本体的壁具有恒定的温度，则无需对腔室本体进行过多的隔热处理，具有更好的维护性，而且由于温度得到控制，其他构件与腔室本体连接处的密封圈结构性能得以保障，从而也就有利于提高真空密封的可靠性。
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公开(公告)号：CN112827678A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202011628453.0
申请日：2020-12-31
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
Inventor： 刘春
Abstract: 本发明公开了一种喷淋头用加热环，由供电端子为加热丝进行供电加热，并通过导热环进行热传导，实现其加热的目的。在导热环的两侧以及上方均设置阻热环，并且导热环与多个阻热环之间围成腔体，通过腔体以及阻热环的阻隔，可有效降低导热环向两侧以及上方的热传递，进而避免对喷淋头中冷却环的影响，加快喷淋头的冷却速度，由于热传递减小，其加热效率可获得显著的提升；该喷淋头用加热环，具有结构简单、设计合理、加热效率高、向冷端热传递量小等优点。
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公开(公告)号：CN109786304B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201910043502.5
申请日：2019-01-17
Applicant: 拓荆科技股份有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67 , C23C16/54
Abstract: 本发明属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域，具体涉及一种用于晶圆处理设备的装载室，所述装载腔体组合包括装载腔本体、一个或复数个腔体加热器，所述装载腔本体为一体式加工成型，利用中间隔离板，被分割成四个腔室，上部两个腔室和下部两个腔室又进一步的通过出气通道而串联；所述腔体加热器与装载腔本体耦接，可根据具体的腔体热分布调整腔体加热器的位置。本发明的装载室具有可被加热的功能，可有效阻止液体反应源的残余部分，在腔壁内侧的冷凝现象，杜绝因此而产生的影响晶圆加工质量的颗粒；还可有效阻止热量的散失，节约能源；防止操作人员的热伤害等优点。
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