公开(公告)号：CN103250057B

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201180058118.4

申请日：2011-11-25

Applicant: 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

Inventor： C·科米 ,  A·科里格利亚诺 ,  B·西莫尼

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

Abstract: 一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)具有：惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上，弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2；2’)，以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。

公开(公告)号：CN103250057A

公开(公告)日：2013-08-14

申请号：CN201180058118.4

申请日：2011-11-25

Applicant: 意法半导体股份有限公司 ,  米兰综合工科大学

Inventor： C·科米 ,  A·科里格利亚诺 ,  B·西莫尼

IPC: G01P15/097 ,  G01P15/18

CPC classification number: G01P15/097 ,  G01P15/0888 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

Abstract: 一种用于MEMS谐振双轴加速度计(16)的微机电检测结构(1；1′)具有：惯性质量体(2；2’)，借助弹性元件(8)固定至衬底(30)以便悬置在衬底(30)之上，弹性元件(8)响应于相应线性外部加速(ax，ay)实现惯性质量体(2；2′)的沿属于所述惯性质量体(2；2′)的主延伸的平面(xy)的第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的惯性移动；以及至少一个第一谐振元件(10a)和至少一个第二谐振元件(10b)，具有分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)的相应纵向延伸，并且通过弹性元件(8)的相应弹性元件机械地耦合到惯性质量体(2；2’)，以便在惯性质量体分别沿第一检测轴线(x)和第二检测轴线(y)移动时经受相应的轴向应力(N1，N2)。

公开(公告)号：CN101239698B

公开(公告)日：2012-08-08

申请号：CN200810085607.9

申请日：2008-01-21

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·A·梅拉西 ,  S·泽尔比尼 ,  B·西莫尼

IPC: G01P15/08 ,  B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831

Abstract: 在微机电装置(1)中，移动块(2)通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转，覆盖结构(10)设置在移动块(2)上方并且具有朝向移动块(2)的内表面(10a)，以及止动结构(12，14)布置在所述覆盖结构(10)的内表面(10a)处并且向移动块(2)延伸，从而停止移动块(10)沿着衬底(3)的横截轴(z)远离衬底(3)的移动。相对于移动块(2)布置止动结构(12，14)从而减少相互的静电作用的影响，特别是使移动块(2)关于弹性悬挂元件(5)的合成扭矩最小化。

公开(公告)号：CN101239698A

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200810085607.9

申请日：2008-01-21

Applicant: 意法半导体股份有限公司

Inventor： A·A·梅拉西 ,  S·泽尔比尼 ,  B·西莫尼

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0831

Abstract: 在微机电装置(1)中，移动块(2)通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转，覆盖结构(10)设置在移动块(2)上方并且具有朝向移动块(2)的内表面(10a)，以及止动结构(12，14)布置在所述覆盖结构(10)的内表面(10a)处并且向移动块(2)延伸，从而停止移动块(10)沿着衬底(3)的横截轴(z)远离衬底(3)的移动。相对于移动块(2)布置止动结构(12，14)从而减少相互的静电作用的影响，特别是使移动块(2)关于弹性悬挂元件(5)的合成扭矩最小化。