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公开(公告)号：CN103206970B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201210385131.7
申请日：2012-10-08
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 米兰综合工科大学
IPC: G01D5/241
CPC classification number: G01C19/5719 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , H04R19/00 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R2201/003
Abstract: 一种微机电传感器，包括：支撑结构(2)，具有形成电容器(10)的至少一个第一电极(7a)和至少一个第二电极(7b)；以及由非传导材料制成的感测装置(3)，感测装置(3)被布置成与关联于电容器(10)的电场交互并且根据自由度(X)相对于支撑结构(2)可移动，从而感测装置(3)相对于第一电极(7a)和第二电极(7b)的相对位置响应于外部应力而可变。感测装置(3)由在本征半导体材料、半导体材料的氧化物、半导体材料的氮化物中选择的材料制成。
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公开(公告)号：CN101239698A
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200810085607.9
申请日：2008-01-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P2015/0831
Abstract: 在微机电装置(1)中，移动块(2)通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转，覆盖结构(10)设置在移动块(2)上方并且具有朝向移动块(2)的内表面(10a)，以及止动结构(12，14)布置在所述覆盖结构(10)的内表面(10a)处并且向移动块(2)延伸，从而停止移动块(10)沿着衬底(3)的横截轴(z)远离衬底(3)的移动。相对于移动块(2)布置止动结构(12，14)从而减少相互的静电作用的影响，特别是使移动块(2)关于弹性悬挂元件(5)的合成扭矩最小化。
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公开(公告)号：CN103206970A
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：CN201210385131.7
申请日：2012-10-08
Applicant: 意法半导体股份有限公司 , 米兰综合工科大学
IPC: G01D5/241
CPC classification number: G01C19/5719 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , H04R19/00 , H04R19/005 , H04R19/02 , H04R2201/003
Abstract: 一种微机电传感器，包括：支撑结构(2)，具有形成电容器(10)的至少一个第一电极(7a)和至少一个第二电极(7b)；以及由非传导材料制成的感测装置(3)，感测装置(3)被布置成与关联于电容器(10)的电场交互并且根据自由度(X)相对于支撑结构(2)可移动，从而感测装置(3)相对于第一电极(7a)和第二电极(7b)的相对位置响应于外部应力而可变。感测装置(3)由在本征半导体材料、半导体材料的氧化物、半导体材料的氮化物中选择的材料制成。
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公开(公告)号：CN101239698B
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN200810085607.9
申请日：2008-01-21
Applicant: 意法半导体股份有限公司
CPC classification number: B81B3/0051 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P2015/0831
Abstract: 在微机电装置(1)中，移动块(2)通过弹性悬挂元件(5)悬挂在衬底(3)上方，并且可以围绕所述弹性悬挂元件(5)旋转，覆盖结构(10)设置在移动块(2)上方并且具有朝向移动块(2)的内表面(10a)，以及止动结构(12，14)布置在所述覆盖结构(10)的内表面(10a)处并且向移动块(2)延伸，从而停止移动块(10)沿着衬底(3)的横截轴(z)远离衬底(3)的移动。相对于移动块(2)布置止动结构(12，14)从而减少相互的静电作用的影响，特别是使移动块(2)关于弹性悬挂元件(5)的合成扭矩最小化。
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