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公开(公告)号：CN111593324A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010449411.4
申请日：2016-02-13
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , B01D46/00 , B01D46/54
Abstract: 本申请描述了一种多孔基质过滤器及其制作方法。在各种应用中，衬底包含金属表面，所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触，所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层，所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、热性质或结构性质。描述涂覆所述金属表面及用于选择所利用的涂层材料的各种方法。
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公开(公告)号：CN111519166A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN202010448514.9
申请日：2016-02-13
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/44 , C23C16/455
Abstract: 本申请描述了一种衬底部分上的复合原子层沉积ALD涂层及一种在衬底部分上形成经图案化ALD涂层的方法。在各种应用中，所述衬底部分包含金属表面，所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触，所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层，所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、热性质或结构性质。描述涂覆所述金属表面及用于选择所利用的涂层材料的各种方法。
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公开(公告)号：CN109023303A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201811031909.8
申请日：2016-02-13
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/44 , C23C16/455
CPC classification number: C23C28/044 , C23C14/243 , C23C14/50 , C23C16/042 , C23C16/403 , C23C16/404 , C23C16/405 , C23C16/4404 , C23C16/4412 , C23C16/45525 , C23C16/45555 , C23C16/56 , C23C28/042
Abstract: 本申请描述了一种衬底部分上的复合原子层沉积ALD涂层及一种在衬底部分上形成经图案化ALD涂层的方法。在各种应用中，所述衬底部分包含金属表面，所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触，所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层，所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、热性质或结构性质。描述涂覆所述金属表面及用于选择所利用的涂层材料的各种方法。
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公开(公告)号：CN104904003B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201380057372.1
申请日：2013-10-29
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01L21/683 , H01L21/687
CPC classification number: H01L21/6831 , H01L21/6833 , H01L21/6875
Abstract: 根据本发明的一具体实例，提供用于一静电夹盘的一软性突出结构，其提供用于晶圆、工件或其他基板的一非研磨接触表面，同时也具有改良的可制造性及与接地表面压板设计的兼容性。该软性突出结构包含一可光图案化的聚合物。
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公开(公告)号：CN113930746A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111192285.X
申请日：2016-02-13
Applicant: 恩特格里斯公司
Abstract: 本发明涉及用于增强衬底制品及装置的性质及性能的涂层。本发明描述适用于多种衬底制品、结构、材料及设备的涂层。在各种应用中，所述衬底包含金属表面，所述金属表面易于在其上形成此金属的氧化物、氮化物、氟化物或氯化物，其中所述金属表面经配置以在使用中与气体、固体或液体接触，所述气体、固体或液体与所述金属表面进行反应以形成对所述衬底制品、结构、材料或设备有害的反应产物。所述金属表面涂覆有保护涂层，所述保护涂层防止所述经涂覆表面与所述反应性气体进行反应及/或以其它方式改进所述衬底制品或设备的电性质、化学性质、热性质或结构性质。描述涂覆所述金属表面及用于选择所利用的涂层材料的各种方法。
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公开(公告)号：CN111566255A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880086065.9
申请日：2018-12-18
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/44 , C23C16/458 , H01L21/67 , H01L21/02
Abstract: 本发明描述了多层涂层、涂有多层涂层的基板(即，物品)以及通过原子层沉积制备多层涂层的方法，其中所述涂层包括氧化铝层和氧化钇层。
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公开(公告)号：CN108780773A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015129.1
申请日：2017-02-02
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01L21/683
CPC classification number: H01L21/6833 , H01L21/6831
Abstract: 本发明涉及一种具有整体非弧形顶表面状突部的静电吸盘，所述突部具有与椭圆的部分类似的边缘表面。所述突部的结构导致由所支撑衬底与所述吸盘之间的交互生成的微粒材料减少。通过改善所述突部表面的平滑化及平坦化来达成降低刮擦、打磨、磨损及微粒生成的水平。
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