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公开(公告)号：CN1729428A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN02810019.0
申请日：2002-05-16
Applicant: 德克萨斯州大学系统董事会
IPC: G03F7/00
CPC classification number: B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002
Abstract: 描述了一种高生产能力的光刻过程，通过使用仔细控制的电场再令可聚合组合物固化，在可聚合的组合物中产生高分辨率的图形。该过程采用包含有所要图形的模板。令该模板精密地近接基底上的可聚合组合物。在模板——基底的界面上施加外电场同时保持模板与基底之间存在均匀的仔细控制的间隙。这使得可聚合的组合物被吸引到模板的凸出部分。通过适当地选择过程参数，如可聚合组合物的粘度，电场的大小和模板与基底之间的距离，在该液体中形成的结构的分辨率可被控制成与模板结构的分辨率一致。
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公开(公告)号：CN1531668A
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN01820435.X
申请日：2001-10-12
Applicant: 德克萨斯州大学系统董事会
CPC classification number: G11B5/855 , B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00 , Y10S977/887
Abstract: 本发明公开刻痕光刻的模板、形成和使用该模板的方法，以及模板夹持器装置。一刻痕光刻模板可包括带有在本体表面上的多个下凹的本体。本体可以是对触发光基本透明的材料。多个下凹的至少一部分可形成具有特征尺寸约小于250nm的容貌。一模板可这样形成：获得基本上对于触发光透明的材料和在模板的表面上形成多个下凹。在某些实施例中，一模板还可包括至少一个对齐标志。在某些实施例中，一模板还可包括一间隙检测区域。一刻痕光刻模板可用来在衬底上的光致固化液体内形成一刻痕层。在使用过程中，模板可放置在一模板夹持器内。该模板夹持器可包括一带有构造成接纳模板的开口的本体、一支承板，以及连接到本体上的至少一个压电致动器。在使用中，压电致动器可构造成改变模板的物理尺寸。
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公开(公告)号：CN100365507C
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN01820435.X
申请日：2001-10-12
Applicant: 德克萨斯州大学系统董事会
CPC classification number: G11B5/855 , B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00 , Y10S977/887
Abstract: 本发明公开刻痕光刻的模板、形成和使用该模板的方法，以及模板夹持器装置。一刻痕光刻模板可包括带有在本体表面上的多个下凹的本体。本体可以是对触发光基本透明的材料。多个下凹的至少一部分可形成具有特征尺寸约小于250nm的容貌。一模板可这样形成：获得基本上对于触发光透明的材料和在模板的表面上形成多个下凹。在某些实施例中，一模板还可包括至少一个对齐标志。在某些实施例中，一模板还可包括一间隙检测区域。一刻痕光刻模板可用来在衬底上的光致固化液体内形成一刻痕层。在使用过程中，模板可放置在一模板夹持器内。该模板夹持器可包括一带有构造成接纳模板的开口的本体、一支承板，以及连接到本体上的至少一个压电致动器。在使用中，压电致动器可构造成改变模板的物理尺寸。
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