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公开(公告)号：CN1531668A
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN01820435.X
申请日：2001-10-12
Applicant: 德克萨斯州大学系统董事会
CPC classification number: G11B5/855 , B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00 , Y10S977/887
Abstract: 本发明公开刻痕光刻的模板、形成和使用该模板的方法，以及模板夹持器装置。一刻痕光刻模板可包括带有在本体表面上的多个下凹的本体。本体可以是对触发光基本透明的材料。多个下凹的至少一部分可形成具有特征尺寸约小于250nm的容貌。一模板可这样形成：获得基本上对于触发光透明的材料和在模板的表面上形成多个下凹。在某些实施例中，一模板还可包括至少一个对齐标志。在某些实施例中，一模板还可包括一间隙检测区域。一刻痕光刻模板可用来在衬底上的光致固化液体内形成一刻痕层。在使用过程中，模板可放置在一模板夹持器内。该模板夹持器可包括一带有构造成接纳模板的开口的本体、一支承板，以及连接到本体上的至少一个压电致动器。在使用中，压电致动器可构造成改变模板的物理尺寸。
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公开(公告)号：CN100365507C
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN01820435.X
申请日：2001-10-12
Applicant: 德克萨斯州大学系统董事会
CPC classification number: G11B5/855 , B29C35/0888 , B29C37/0053 , B29C43/003 , B29C2035/0827 , B29C2043/025 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , G03F7/0002 , G03F9/00 , Y10S977/887
Abstract: 本发明公开刻痕光刻的模板、形成和使用该模板的方法，以及模板夹持器装置。一刻痕光刻模板可包括带有在本体表面上的多个下凹的本体。本体可以是对触发光基本透明的材料。多个下凹的至少一部分可形成具有特征尺寸约小于250nm的容貌。一模板可这样形成：获得基本上对于触发光透明的材料和在模板的表面上形成多个下凹。在某些实施例中，一模板还可包括至少一个对齐标志。在某些实施例中，一模板还可包括一间隙检测区域。一刻痕光刻模板可用来在衬底上的光致固化液体内形成一刻痕层。在使用过程中，模板可放置在一模板夹持器内。该模板夹持器可包括一带有构造成接纳模板的开口的本体、一支承板，以及连接到本体上的至少一个压电致动器。在使用中，压电致动器可构造成改变模板的物理尺寸。
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